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袁慧珠

作品数：23 被引量：10H指数：2
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信自动化与计算机技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 4篇科技成果
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇金属学及工艺
  • 5篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇建筑科学

主题

  • 9篇划片
  • 9篇划片机
  • 5篇硅片
  • 4篇太阳能
  • 3篇刀片
  • 3篇有限元
  • 3篇有限元分析
  • 3篇三维建模
  • 3篇轴流
  • 3篇轴流风扇
  • 3篇芯片
  • 3篇进给
  • 3篇净化处理
  • 3篇冷凝
  • 3篇冷凝水
  • 3篇后排
  • 3篇边角料
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇电机驱动器

机构

  • 20篇沈阳仪表科学...
  • 2篇沈阳仪器仪表...
  • 1篇沈阳工业大学

作者

  • 23篇袁慧珠
  • 18篇马岩
  • 13篇鞠仁忠
  • 13篇孙家全
  • 11篇白宇
  • 10篇李艳丽
  • 10篇张明明
  • 10篇余胡平
  • 4篇李建宁
  • 4篇李民
  • 4篇张锡广
  • 4篇刘荣才
  • 3篇周志刚
  • 3篇徐秋玲
  • 3篇白雪峰
  • 2篇夏宗群
  • 1篇刘宏伟
  • 1篇刘沁
  • 1篇匡石
  • 1篇张纯棣

传媒

  • 4篇仪表技术与传...
  • 1篇新技术新工艺
  • 1篇金刚石与磨料...
  • 1篇中国科技成果
  • 1篇第11届全国...

年份

  • 2篇2012
  • 3篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
  • 7篇2007
  • 1篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇1998
  • 1篇1996
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
1998年
】ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
袁慧珠李德爱孙家全王纪春
关键词：开槽半导体
划片机平台基准自动对准装置
一种划片机平台基准自动对准装置，包括主轴座、带有切割头的主轴、切割基准平台及其传动装置和自动控制系统，其技术要点是：所述自动控制系统的对准电路中的对准点JK连接到与主轴连通的导体上，对准点PT连接到与固定在绝缘板上的基准...
袁慧珠张明明余胡平孙家全鞠仁忠马岩李艳丽白宇
文献传递
划片机水雾清理装置
一种能够在工件加工过程中实现清除所产生的水气及雾状物的划片机水雾清理装置，它包括壳体及组装壳体的盖板、进、出气接头，其技术要点是：所述壳体的进、出气接头分别组装有前、后过滤网，前、后过滤网之间设置轴流风扇，前过滤网与轴流...
马岩余胡平刘荣才周志刚李民李艳丽袁慧珠白宇张明明孙家全鞠仁忠
文献传递
金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模
介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图。通过仿真得到：砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀...
马岩袁慧珠鞠仁忠孙家全夏宗群
关键词：硅片加工有限元分析三维建模
文献传递
划片机平台基准自动对准装置
一种划片机平台基准自动对准装置，包括主轴座、带有切割头的主轴、切割基准平台及其传动装置和自动控制系统，其技术要点是：所述自动控制系统的对准电路中的对准点JK连接到与主轴连通的导体上，对准点PT连接到与固定在绝缘板上的基准...
袁慧珠张明明余胡平孙家全鞠仁忠马岩李艳丽白宇
文献传递
力敏传感器专用工艺装备开发
刘沁袁慧珠白宇刘宏伟匡石李德爱张纯棣孙家全李艳丽
该项目在力敏传感器MEMS部分工艺应用技术研究的基础上，通过专用工艺设备的研制，实现了MEMS部分工艺的实际应用和工艺的稳定，替代了敏感微结构的传统加工工艺，提高了工艺的成品率。并且项目解决了专用工艺设备的设计技术、精密...
关键词：
关键词：力敏传感器
划片机水雾清理装置
一种能够在工件加工过程中实现清除所产生的水气及雾状物的划片机水雾清理装置，它包括壳体及组装壳体的盖板、进、出气接头，其技术要点是：所述壳体的进、出气接头组装有前、后过滤网，前、后过滤网之间设置轴流风扇，前过滤网与轴流风扇...
马岩余胡平刘荣才周志刚李民李艳丽袁慧珠白宇张明明孙家全鞠仁忠
文献传递
力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
1996年
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点,介绍了工作台负压加载的原理与方法,进行了加载真空系统的设计计算,90°分度转角精度的设计计算、用于θ向对准的蜗轮蜗杆的设计计算以及工作台Z向移动的设计计算等。
袁慧珠
关键词：力敏器件测试装置
太阳能电池基片切割机
一种太阳能电池基片切割机，包括机座、组装机座上的切割头和切割工作台及其传动装置、气动控制回路、电气控制回路，其特征在于：采用空气静压式中频电主轴和组装其轴端的超薄砂轮刀片构成切割头，以纵、立轴步进电机带动电主轴移动，以横...
孙家全袁慧珠李艳丽马岩白宇李民余胡平张明明鞠仁忠
文献传递
太阳能电池芯片专用划切载台
一种太阳能电池芯片专用划切载台，从根本上解决现有划切设备划片时易出现硅片背面崩裂的问题。它包括固定太阳能电池芯片的吸盘、装配有切片刀的主轴、进给电机，其技术要点是：吸盘上表面按芯片成形尺寸开设划切轨道，划切轨道的划切轨迹...
马岩袁慧珠徐秋玲鞠仁忠白雪峰李建宁张锡广
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