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李厅

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：鲁东大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 5篇溅射
  • 3篇透明导电
  • 3篇掺杂
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇氧化铟
  • 2篇氧化镓
  • 2篇直流磁控
  • 2篇直流磁控溅射
  • 2篇柔性基材
  • 2篇射电
  • 2篇射频
  • 2篇射频溅射
  • 2篇室温制备
  • 2篇透明导电膜
  • 2篇紫外
  • 2篇氟掺杂
  • 1篇带隙
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射

机构

  • 5篇鲁东大学

作者

  • 5篇李厅
  • 4篇赵银女
  • 3篇张易军
  • 2篇刘建军
  • 2篇石亮
  • 1篇张丽英
  • 1篇曲崇
  • 1篇李清山

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种氟掺杂氧化锡透明导电膜的制备方法
本发明公开了一种偏压射频磁控溅射法制备SnO<Sub>2</Sub>:F透明导电膜的方法，属于电子材料技术领域。将纯度99.99％的SnO<Sub>2</Sub>粉末和99％的SnF<Sub>2</Sub>粉末按重量比9...
闫金良赵银女石亮刘建军李厅
文献传递
射频磁控溅射法制备N掺杂β-Ga_2O_3薄膜的光学特性(英文)被引量：3
2011年
在不同氨分压比（0~30%）下,用射频磁控溅射法在玻璃和硅衬底上制备了N掺杂β-Ga2O3薄膜.研究了氨分压比和退火对薄膜光学和结构特性的影响.N掺杂β-Ga2O3薄膜的微结构、光学透过率、光学吸收和光学带隙随着氨分压比的增加发生了显著变化.观察到了绿光、蓝光和紫外发光带,并对每个发光带进行了讨论.
闫金良张易军李清山曲崇张丽英李厅
关键词：射频磁控溅射透明导电氧化物光学带隙
一种氟掺杂氧化锡透明导电膜的制备方法
本发明公开了一种偏压射频磁控溅射法制备SnO<Sub>2</Sub>:F透明导电膜的方法，属于电子材料技术领域。将纯度99.99％的SnO<Sub>2</Sub>粉末和99％的SnF<Sub>2</Sub>粉末按重量比9...
闫金良赵银女石亮刘建军李厅
文献传递
双层结构深紫外透明导电膜及其制备方法
本发明涉及一种锡掺杂氧化铟(ITO)/氧化镓(Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>)双层结构深紫外透明导电膜及其制备方法，属于电子材料技术领域。本发明以紫外光学石英玻璃为基板，用射频磁控溅射Ga<Sub...
闫金良李厅张易军赵银女
文献传递
双层结构深紫外透明导电膜及其制备方法
本发明涉及一种锡掺杂氧化铟(ITO)/氧化镓(Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>)双层结构深紫外透明导电膜及其制备方法，属于电子材料技术领域。本发明以紫外光学石英玻璃为基板，用射频磁控溅射Ga<Sub...
闫金良李厅张易军赵银女
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