您的位置： 专家智库 > >

戴习毛

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团更多>>
相关领域：电子电信核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇核科学技术

主题

  • 3篇离子注入
  • 2篇计算方法
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体器件
  • 1篇阴极
  • 1篇使用寿命
  • 1篇热式
  • 1篇注入机
  • 1篇离子
  • 1篇离子源
  • 1篇离子注入机
  • 1篇长寿命

机构

  • 2篇电子工业部
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 3篇戴习毛
  • 1篇刘恺
  • 1篇伍三忠
  • 1篇龙会跃

传媒

  • 1篇电子器件
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇1997
  • 1篇1996
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
强流离子光学计算方法
1997年
本文讨论利用计算机辅助设计建立强流离子光学的一种计算方法.可直接给出空间电位分布及离子运动轨迹,并且设计验证了几个实例.获得满意的结果.
戴习毛
关键词：离子注入半导体器件
长寿命间热式阴极离子源
本文介绍一种最新开发应用于100nm大角度离子注入机的长寿命离子源,该离子源最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子.同时根据工业化离子注入机实用性要求系统介绍离子源使用寿命、引出束流、多电荷离子产额、束稳...
戴习毛刘恺伍三忠龙会跃
关键词：使用寿命离子注入机
文献传递
强流离子光学计算方法
1996年
强流离子光学与传统离子成像光学相比，最主要的区别是强流离子光学必须考虑空间电荷效应。本文讨论利用计算机辅助设计建立强流离子光学的差分计算方法，可直接绘出空间电位分布及离子运动轨迹。设计验证了几个实例，获得较好的结果。
戴习毛
关键词：离子注入半导体器件计算方法
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0