伍三忠
- 作品数：9 被引量：11H指数：2
- 供职机构：国防科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术核科学技术更多>>
- 一台专用强流氧离子注入机的研制被引量：2
- 2003年
- 制备SOI材料的SIMOX技术因其工艺简单、易控制、重复性好、成本低、易向商业化过渡等优点而引起了SOI材料界更为广泛的关注。SIMOX技术所需要的最关键的设备就是大束流专用氧离子注入机。专用氧离子注入机与常规离子注入机有较大的区别:注氧时间长,注入剂量大,注入过程中要求晶片保持600℃左右的高温,金属污染非常低。本文着重介绍一台专用强流氧离子注入机主要结构单元的研制方法及工艺试验结果分析。
- 唐景庭伍三忠贾京英郭健辉刘咸成
- 关键词：离子源金属污染
- 大角度离子注入机控制系统软件设计
- 2008年
- 介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
- 伍三忠吴学忠
- 关键词：大角度离子注入机系统软件软件结构
- 100nm大角度离子注入机控制系统研究
- 离子注入机是半导体制造的关键工艺设备,其中的控制系统研究是离子注入机研制的关键内容之一。本项目开展100nm大角度离子注入机的研究工作,以满足国内大生产线对离子注入工艺的迫切需求,具有重大工程应用价值。 本文以100nm...
- 伍三忠
- 关键词：离子注入机控制系统均匀性
- LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析被引量：3
- 2005年
- 为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠。LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾。其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题。计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数。主控制计算机可向双端口存储器的A,B两区交替发送命令。而且,主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法,一旦发生通讯故障,子控制器就会清"0"复位,避免机器失控。介绍了主从式集中控制的硬件及其特点,分析了主控制器的设计原理,说明了其软件流程,简述了其调试结果。
- 邱小莎伍三忠孙勇
- 关键词：大角度离子注入机控制器异常处理
- 离子注入装备发展趋势被引量：5
- 2006年
- 简述了现代集成电路制造工艺的发展状况,详细的介绍了制造工艺各技术节点离子注入工艺所面临的挑战及解决方案。
- 龚杰洪张彬庭伍三忠
- 关键词：离子注入
- LC14强流氧离子注入机控制系统的研制
- 本文阐述了强流氧离子注入机计算机控制系统的软、硬件实现方案:详细分析了主—从机之间进行数据交换的数据包格式和通讯控制逻辑,发送方和接收方避免总线冲突以及检验传输过程中数据的正确性的方法,以及抗干扰设计.
- 伍三忠沈丽刘恺邹春艳
- 关键词：离子注入机数据包控制系统计算机控制
- 文献传递
- 长寿命间热式阴极离子源
- 本文介绍一种最新开发应用于100nm大角度离子注入机的长寿命离子源,该离子源最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子.同时根据工业化离子注入机实用性要求系统介绍离子源使用寿命、引出束流、多电荷离子产额、束稳...
- 戴习毛刘恺伍三忠龙会跃
- 关键词：使用寿命离子注入机
- 文献传递
- 大角度离子注入机控制系统的研制被引量：1
- 2006年
- 介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等。经实验证明,该控制系统稳定、可靠。
- 伍三忠孙勇王迪平
- 关键词：大角度离子注入机集散式控制子控制器软件结构
- 采用单片机控制的真空控制器
- 本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器.离子注入机真空系统复杂,为适应自动化控制的发展要求,真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外,还要具备通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点.采用8032单...
- 邹春艳伍三忠罗宏洋
- 关键词：单片机现场工业总线
- 文献传递
