任春江 作品数:48 被引量:82 H指数:5 供职机构: 南京电子器件研究所 更多>> 发文基金: 微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室基金 国家重点基础研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 化学工程 更多>>
GaN HEMT的温度特性及其应用 被引量:3 2011年 对0.25μm双场板结构GaN HEMT器件的温度特性进行了研究。负载牵引测试结果显示,GaN HEMT增益的温度系数为-0.02 dB/℃、饱和输出功率系数为-0.004 dB/℃。大的增益温度系数结合GaN HEMT自热效应引起的高温升对实际应用特别是功率MMIC的设计带来了挑战。按常温设计的GaN功率MMIC在高温下输出功率出现了较大幅度的下降,并且连续波与脉冲下工作输出功率存在较大差异。针对GaN HEMT应用中的这些问题提出了解决措施,包括降低2DEG浓度来减小增益的温度系数,通过选择SiC衬底和衬底减薄以及版图设计改善器件散热,降低器件工作时的温升。 任春江 陈堂胜 余旭明 张斌关键词:高电子迁移率晶体管 场板 S波段SiC MESFET微波功率MMIC 被引量:1 2008年 利用本实验室生长的半绝缘衬底上的4H-SiC外延材料开展了SiC MESFET和MMIC的工艺技术研究。在实现SiC衬底减薄和通孔技术的基础上,采用微带技术以及全套的无源器件,设计并研制了国内第一片SiC微波功率MMIC。研制的SiC MMIC工作频段为S波段,在1.8~3.4GHz的频带内小信号增益大于12dB,漏电压为32V时带内脉冲输出功率超过5W。SiCMMIC小信号特性达到了设计预期,但输出功率低于设计值。这是由于受到MI M电容耐压能力的限制,SiC MMIC的工作电压比较低。 柏松 陈刚 冯忠 钱峰 陈征 吴鹏 任春江 李哲洋 郑惟彬 蒋幼泉 陈辰关键词:金属半导体场效应晶体管 微波功率 单片微波集成电路 SiN钝化前的NF_3等离子体处理对AlGaN/GaN HEMT性能的影响 被引量:1 2008年 研究了Si N钝化前利用感应耦合等离子体(ICP)对Al GaN/GaN HEMT表面进行NF3等离子体处理对器件性能的影响.结果表明,运用低能量的NF3等离子体处理钝化前的Al GaN/GaN HEMT表面能有效抑制器件电流崩塌,而器件直流及微波小信号特性则未受影响.微波功率测试表明,经过6min NF3等离子体处理的Al GaN/GaN HEMT在2GHz,30V工作电压下达到6.15W/mm的输出功率密度,而未经过处理的器件只达到1.82W/mm的输出功率密度. 任春江 陈堂胜 焦刚 陈刚 薛舫时 陈辰关键词:ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管 电流崩塌 高功率GaN微波功率放大模块及其应用 采用GaN微波功率HEMT0.4 mm和2 mm管芯,应用GaAs匹配电路实现C波段微波功率模块。该器件研制中采用两级放大电路,正负电源结构,在5.5 GHz,28 v工作电压下。饱和输出功率达到了14 W,此时功率增益... 唐世军 徐永刚 陈堂胜 任春江 钟世昌 陈辰关键词:氮化镓 高电子迁移率晶体管 功率放大模块 匹配电路 文献传递 0.15μm GaN HEMT及其应用 被引量:5 2013年 报道了毫米波应用的0.15μm场板结构GaN HEMT。器件研制采用了76.2mm(3英寸)SiC衬底上外延生长的AlGaN/GaN异质结构材料,该材料由MOCVD技术生长并引入了掺Fe GaN缓冲层技术以提升器件击穿电压。器件栅脚和集成了场板的栅帽均由电子束光刻实现,并采用栅挖槽技术来控制器件夹断电压。研制的2×75μm栅宽GaN HEMT在24V工作电压、35GHz频率下的负载牵引测试结果显示其输出功率密度达到了4W/mm,对应的功率增益和功率附加效率分别为5dB和35%。采用该0.15μm GaN HEMT技术进行了Ka波段GaN功率MMIC的研制,所研制的功率MMIC在24V工作电压下脉冲工作时(100μs脉宽、10%占空比),29GHz频点处饱和功率达到了10.64W。 任春江 陶洪琪 余旭明 李忠辉 王泉慧 王雯 陈堂胜 张斌关键词:铝镓氮 氮化镓 高电子迁移率晶体管 场板 凹槽栅场调制板结构AlGaN/GaN HEMT 被引量:2 2007年 研制的SiC衬底上的AlGaN/GaN微波功率HEMTs,采用凹槽栅和场调制板结构有效抑制了器件的电流崩塌,提高了器件的击穿电压和器件的微波功率特性.研制的1mm栅宽器件在8GHz,34V工作电压下,饱和输出功率达到了9.05W,功率增益为7.5dB,功率附加效率为46%. 陈堂胜 王晓亮 焦刚 钟世昌 任春江 陈辰 李拂晓关键词:宽禁带半导体 场板 低漏电、高击穿电容的HDPCVD工艺研究 2013年 介绍了一种低漏电、高击穿电容的HDPCVD(ICPCVD)工艺,并对制备的电容进行了电性能分析和失效分析。通过优化确定了工艺的最佳反应条件,研制出的电容其击穿场强达到8.7MV/cm,在电压加到200V时其电容漏电小于0.5μA。通过与传统的PECVD工艺进行对比,充分体现了HDPCVD(ICPCVD)工艺生长介质的低温生长、低漏电、较高击穿场强、无H工艺等优点。随后的失效分析表明,电容上下电极金属对电容成品率有着很大影响。 刘海琪 王泉慧 栗锐 任春江 陈堂胜关键词:电容 0.5μm GaN HEMT及其可靠性 文中报道了采用Ⅰ线步进光刻实现的3英寸SiC衬底0.5μm GaN HEMT及其可靠性.器件正面工艺光刻均采用了Ⅰ线步进光刻来实现,背面采用通孔接地.研制的GaN HEMT器件fT为15GHz,fm.为24GHz,6GH... 任春江 王泉慧 刘海琪 王雯 李忠辉 孔月婵 蒋浩 钟世昌 陈堂胜 张斌关键词:高电子迁移率晶体管 可靠性评估 文献传递 基于3英寸0.25μm工艺的GaN HEMT宽带功率MMIC 2011年 GaN HEMT具有工作电压高、功率密度大、输出阻抗高、散热性能好等特点,大大扩展了功率MMIC的设计空间。具体表现在:GaN HEMT可工作于高电压下,同样的输出功率工作电流较小,大大简化了系统电源和电磁兼容设计;高密度的输出功率使得芯片面积和器件的封装得以减小;GaN HEMT更高的输出阻抗,扩展了器件工作带宽; 张斌 陈堂胜 任春江 余旭明关键词:HEMT MMIC 宽带 电磁兼容设计 输出阻抗 宽带GaN大功率单刀双掷开关设计 被引量:1 2015年 设计了一款基于MMIC工艺的宽带GaN大功率单刀双掷开关芯片,该款GaN开关芯片电路采用一个串管两并管的结构。在小信号开关芯片设计的基础上,利用了功率开关容量的理论公式,并结合电路仿真以及电磁场仿真,辅之以DOE(Design of experiment)方法设计。开关芯片实测结果表明:在DC-12GHz频带内,插入损耗<1.2dB,隔离度>40dB,P-0.1>44dBm,体积仅为1.8mm×1.0mm×0.1mm。 沈宏昌 任春江 韩群飞 徐波 李思其关键词:宽带 氮化镓 大功率 开关