张荣梅
- 作品数:5 被引量:16H指数:3
- 供职机构:保定师范专科学校物理系更多>>
- 发文基金:河北省自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信更多>>
- 脉冲激光烧蚀沉积纳米硅薄膜的动力学研究
- 本研究假定烧蚀粒子与环境气体原子为刚性硬球,根据脉冲激光沉积纳米si膜原理,采用了monte carlo方法,对烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟。研究了烧蚀粒子与不同种类、不同气压环境气体的碰撞过程及相互碰撞...
- 张荣梅
- 关键词:MONTECARLO方法PLD脉冲激光沉积
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- 激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系被引量:3
- 2005年
- 在不同环境气体中,对脉冲激光烧蚀产生的Si粒子的输运过程进行了Monte Carlo动力学模拟,并实验研究了脉冲激光烧蚀制备纳米Si薄膜的晶粒尺寸分布.在理论分析和实验研究的基础上,讨论了纳米Si晶粒尺寸分布和烧蚀过程中出现的交叠区振荡稳定时间的对应关系.结果表明,Si蒸气/环境气体高密度交叠区振荡稳定时间越短,所制备的纳米Si晶粒尺寸分布越均匀.
- 李艳丽刘景旺张荣梅王英龙
- 关键词:脉冲激光烧蚀动力学纳米SI晶粒
- 脉冲激光烧蚀沉积纳米Si膜动力学研究现状被引量:4
- 2003年
- Si基纳米材料在半导体光电集成领域有着十分诱人的前景 ,脉冲激光烧蚀技术是目前材料界和分析界最有前景的技术之一 .介绍了脉冲激光烧蚀沉积Si基纳米材料的基本原理 。
- 张荣梅王英龙
- 关键词:脉冲激光烧蚀动力学
- 微腔半导体激光器泵浦的光孤子源研究
- 2003年
- 从微腔半导体激光器考虑相位变化的速率方程和光纤非线性薛定谔方程出发,数值模拟了交变电流注入下微腔半导体激光器内腔和光纤外腔中的光振荡过程,研究了光孤子形成的可能性。结果表明,合理选择自发发射因子、有源区体积、相位振幅耦合参数、附加相位参量等内外腔参数,可以实现稳定的孤子脉冲输出。
- 王英龙郑云龙张荣梅尚勇
- 关键词:光电子学与激光技术光纤孤子微腔半导体激光器
- 环境气压对脉冲激光烧蚀沉积纳米Si薄膜表面粗糙度的影响被引量:11
- 2004年
- 薄膜表面粗糙度是表征薄膜质量的重要指标 ,为了探求环境气压对脉冲激光烧蚀沉积纳米Si薄膜表面粗糙度的影响 ,采用XeCl脉冲准分子激光器 ,分别在惰性气体氦气和氩气的不同气压环境下烧蚀沉积了纳米Si薄膜 ,用TencorInstrumentsAlpha Step 2 0 0台阶仪对相应薄膜的表面粗糙度进行了测量。结果表明 ,薄膜表面粗糙度开始随着气压的增大而逐渐增加 ,在达到一最大值后便随着气压的增大而减小。由不同气体环境下的结果比较可以看出 ,充氩气所得Si薄膜表面粗糙度比充氦气的小 ,最大粗糙度强烈地依赖于气体种类。对于原子质量较大的氩气而言 ,其最大粗糙度仅比低气压时高出 11% ,而对于原子质量较小的氦气来说 ,其最大粗糙度比低气压时高出314 %。
- 王英龙张荣梅傅广生彭英才孙运涛
- 关键词:薄膜物理学脉冲激光烧蚀表面粗糙度