您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电镀
  • 1篇以太
  • 1篇以太网
  • 1篇以太网控制
  • 1篇圆片
  • 1篇圆片级
  • 1篇运动控制
  • 1篇湿化学
  • 1篇喷镀
  • 1篇自动化
  • 1篇自动化技术
  • 1篇分布式
  • 1篇分布式运动控...
  • 1篇ETHERC...

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇李永红
  • 1篇张玮琪
  • 1篇曹颖杰
  • 1篇段成龙
  • 1篇张伟锋
  • 1篇王洪建
  • 1篇刘凯文

传媒

  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇2010年中...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2010
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用
2020年
为解决传统控制系统控制结构封闭,兼容性差以及缺乏网络通信功能等弊端,满足湿化学设备在行业应用中的自动化和智能化需求,将以太网控制自动化技术应用于设备控制架构,搭建应用平台,构建适用于湿化学设备的分布式运动控制系统。简化了网络拓扑配置,提高了系统运动控制的实时性,满足设备应用需求,提升设备在行业应用中的适应性和扩展性。
王洪建刘凯文李永红何川张玮琪
关键词:分布式运动控制
圆片级电镀技术探讨
圆片级电镀技术已经成为一门独立于常规微电子电镀的专门技术。在圆片级电镀设备的技术指标要求中,高度均匀性是电镀凸点性能的主要衡量指标之一。因此,几乎所有的圆片级电镀设备都是围绕这一要求展开研制的。本文从最主要影响电镀效果的...
张伟锋曹颖杰李永红段成龙
文献传递
共1页<1>
聚类工具0