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李永红
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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电子电信
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刘凯文
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EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用
2020年
为解决传统控制系统控制结构封闭,兼容性差以及缺乏网络通信功能等弊端,满足湿化学设备在行业应用中的自动化和智能化需求,将以太网控制自动化技术应用于设备控制架构,搭建应用平台,构建适用于湿化学设备的分布式运动控制系统。简化了网络拓扑配置,提高了系统运动控制的实时性,满足设备应用需求,提升设备在行业应用中的适应性和扩展性。
王洪建
刘凯文
李永红
何川
张玮琪
关键词:
分布式运动控制
圆片级电镀技术探讨
圆片级电镀技术已经成为一门独立于常规微电子电镀的专门技术。在圆片级电镀设备的技术指标要求中,高度均匀性是电镀凸点性能的主要衡量指标之一。因此,几乎所有的圆片级电镀设备都是围绕这一要求展开研制的。本文从最主要影响电镀效果的...
张伟锋
曹颖杰
李永红
段成龙
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