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陈晨

作品数：103 被引量：44H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电气工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 66篇专利
  • 20篇会议论文
  • 17篇期刊文章

领域

  • 22篇电气工程
  • 7篇电子电信
  • 6篇一般工业技术
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 65篇电池
  • 39篇太阳能电池
  • 23篇太阳能
  • 21篇太阳电池
  • 20篇纳米
  • 14篇硅太阳能电池
  • 13篇纳米晶
  • 12篇硅电池
  • 11篇微电子
  • 11篇晶体硅
  • 10篇微电子工艺
  • 9篇电极
  • 9篇电子器件
  • 9篇浮栅
  • 8篇单电子器件
  • 7篇电子存储
  • 7篇电子存储器
  • 7篇蒸发
  • 7篇声表面波
  • 7篇纳米线

机构

  • 103篇中国科学院微...
  • 2篇北京交通大学
  • 1篇北方工业大学
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇国网智能电网...
  • 1篇许昌开普电器...

作者

  • 103篇陈晨
  • 99篇贾锐
  • 56篇刘新宇
  • 50篇李昊峰
  • 45篇李维龙
  • 40篇刘明
  • 33篇朱晨昕
  • 29篇金智
  • 24篇叶甜春
  • 15篇张巍
  • 13篇陈宝钦
  • 13篇邢钊
  • 12篇窦丙飞
  • 12篇张培文
  • 12篇张代生
  • 10篇丁武昌
  • 10篇孟彦龙
  • 9篇岳会会
  • 8篇谢常青
  • 7篇王琴

传媒

  • 8篇第13届中国...
  • 5篇微纳电子技术
  • 3篇太阳能
  • 2篇太阳能学报
  • 1篇硅酸盐学报
  • 1篇物理
  • 1篇发光学报
  • 1篇半导体光电
  • 1篇压电与声光
  • 1篇中国科学：物...
  • 1篇智能电网（汉...
  • 1篇第十六届全国...
  • 1篇第九届中国太...
  • 1篇广东省真空学...

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 24篇2013
  • 13篇2012
  • 21篇2011
  • 17篇2010
  • 21篇2009
共 103 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于微机电技术制作声表面波相关器的方法
本发明公开了一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。利用...
李昊峰贾锐李维龙陈晨朱晨昕
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垂直可变磁场装置
本发明是关于一种垂直可变磁场装置，应用于低温探针台系统，该装置包括：顶部永磁铁、底部永磁铁、样品座以及多个支撑螺杆，所述的支撑螺杆一端固定于所述的样品座上；所述的顶部永磁铁固定于所述的支撑螺杆；所述的底部永磁铁设置在所述...
陈晨贾锐李维龙姚嘉宁朱晨昕李昊峰刘明刘新宇
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制备埋嵌硅纳米晶的高介电常数栅介质的方法
本发明公开了一种采用电子束蒸发方式制备埋嵌硅纳米晶的高介电常数栅介质的方法，该方法包括：在衬底上生长二氧化硅隧穿介质层；将高介电常数栅介质的固体粉末和硅粉末的混合物通过电子束蒸发技术蒸发至该二氧化硅层上；高温热退火。采用...
李维龙贾锐陈晨刘明陈宝钦谢常青龙世兵
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非挥发存储器的制备方法
本发明是关于一种非挥发存储器的制备方法，其包括以下步骤：在半导体衬底上形成一层栅氧化层；采用电子束蒸发方式将硅粉末和二氧化铪粉末的混合物蒸发至该栅氧化层上，再经高温热退火在形成纳米晶浮栅层；在纳米晶浮栅层上形成栅电极；以...
朱晨昕贾锐陈晨李维龙李昊峰王琴刘明
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一种制备硅基纳米结构高效太阳电池的方法
本发明公开了一种制备硅基纳米结构高效太阳电池的方法，包括：对硅片进行清洗；在硅片背面上生长单层氮化硅薄膜；采用湿法腐蚀在硅片正面形成纳米超小绒面结构；浓酸加热处理硅片，去除剩余的金属；使用激光烧蚀的方法在硅绒面上刻蚀出电...
贾锐张悦窦丙飞陈晨金智刘新宇
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一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法
本发明公开了一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法，包括:在硅片背面整面硼离子注入形成背面发射区;背面沉积碱腐蚀阻挡层;在背面阻挡层上开出BSF窗口，腐蚀去除BSF窗口处的碱腐蚀阻挡层;碱腐蚀去除背面BSF窗口...
贾锐邢钊陈晨张巍张代生金智刘新宇
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采用电子束蒸发方式制备HfO<Sub>2</Sub>纳米晶的方法
本发明公开了一种采用电子束蒸发方式制备HfO<Sub>2</Sub>纳米晶的方法，该方法包括：在衬底上生长二氧化硅层；采用电子束蒸发方式将HfO<Sub>2</Sub>粉末和二氧化硅粉末的混合物共同蒸发至该二氧化硅层上；...
李维龙贾锐陈晨刘明陈宝钦龙世兵谢常青王琴涂德钰
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一种用于超小绒面高效太阳电池的电极结构的制备方法
本发明公开了一种用于超小绒面高效太阳电池的电极结构的制备方法，包括：清洗硅衬底；在硅衬底表面制备超小绒面；对硅衬底进行淡磷扩散；在淡磷扩散后的硅衬底表面沉积一层Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>减反射...
贾锐杨勇洲陈晨金智刘新宇
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一种制备p+掺杂层与n+前表面场的方法
本发明公开了一种n型晶硅太阳能电池p+掺杂层与n+前表面场的制备方法，属于太阳能电池技术领域。该方法包括在n型晶硅衬底上沉积掺硼非晶硅层，形成第I中间产物；在所述第I中间产物的非晶硅层上沉积氮化硅保护层，形成第II中间产...
贾锐张巍陈晨张代生金智刘新宇
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多晶硅电池叠层抗反射层的设计研究
根据多晶硅电池对于表面抗反射薄膜设计的需要，基于薄膜反射特征导纳矩阵理论，结合电池的背底反射，建立了较完善的表面反射和电池吸收计算模型。通过分析计算，设计了硅量子点镶嵌氮化硅与二氧化硅组成的双层抗反射薄膜，在AM1.5光...
丁武昌贾锐陈晨孟彦龙崔冬萌李昊峰金智刘新宇叶甜春
关键词：多晶硅电池反射率硅量子点
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