陈晨
- 作品数：103 被引量：43H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 基于微机电技术制作声表面波相关器的方法
- 本发明公开了一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。利用...
- 李昊峰贾锐李维龙陈晨朱晨昕
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- 垂直可变磁场装置
- 本发明是关于一种垂直可变磁场装置，应用于低温探针台系统，该装置包括：顶部永磁铁、底部永磁铁、样品座以及多个支撑螺杆，所述的支撑螺杆一端固定于所述的样品座上；所述的顶部永磁铁固定于所述的支撑螺杆；所述的底部永磁铁设置在所述...
- 陈晨贾锐李维龙姚嘉宁朱晨昕李昊峰刘明刘新宇
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- 制备埋嵌硅纳米晶的高介电常数栅介质的方法
- 本发明公开了一种采用电子束蒸发方式制备埋嵌硅纳米晶的高介电常数栅介质的方法，该方法包括：在衬底上生长二氧化硅隧穿介质层；将高介电常数栅介质的固体粉末和硅粉末的混合物通过电子束蒸发技术蒸发至该二氧化硅层上；高温热退火。采用...
- 李维龙贾锐陈晨刘明陈宝钦谢常青龙世兵
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- 非挥发存储器的制备方法
- 本发明是关于一种非挥发存储器的制备方法，其包括以下步骤：在半导体衬底上形成一层栅氧化层；采用电子束蒸发方式将硅粉末和二氧化铪粉末的混合物蒸发至该栅氧化层上，再经高温热退火在形成纳米晶浮栅层；在纳米晶浮栅层上形成栅电极；以...
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- 一种制备硅基纳米结构高效太阳电池的方法
- 本发明公开了一种制备硅基纳米结构高效太阳电池的方法，包括：对硅片进行清洗；在硅片背面上生长单层氮化硅薄膜；采用湿法腐蚀在硅片正面形成纳米超小绒面结构；浓酸加热处理硅片，去除剩余的金属；使用激光烧蚀的方法在硅绒面上刻蚀出电...
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- 一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法
- 本发明公开了一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法，包括:在硅片背面整面硼离子注入形成背面发射区;背面沉积碱腐蚀阻挡层;在背面阻挡层上开出BSF窗口，腐蚀去除BSF窗口处的碱腐蚀阻挡层;碱腐蚀去除背面BSF窗口...
- 贾锐邢钊陈晨张巍张代生金智刘新宇
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- 采用电子束蒸发方式制备HfO<Sub>2</Sub>纳米晶的方法
- 本发明公开了一种采用电子束蒸发方式制备HfO<Sub>2</Sub>纳米晶的方法，该方法包括：在衬底上生长二氧化硅层；采用电子束蒸发方式将HfO<Sub>2</Sub>粉末和二氧化硅粉末的混合物共同蒸发至该二氧化硅层上；...
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- 一种用于低温探针台中的磁场产生装置
- 本发明涉及一种用于低温探针台中的磁场产生装置。为了克服现有测试设备中体积大、不易携带的缺点，本发明提供一种用于低温探针台中的磁场产生装置，包括底托、样品托和永磁铁，所述底托上方设有两根平行螺杆，两根螺杆上设有可沿螺杆滑动...
- 李维龙贾锐陈晨朱晨昕李昊峰
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- N型全背接触太阳能电池制备过程中工艺过程对电池性能的影响研究
- 贾锐陈晨张巍邢钊
- 气体声表面波传感器的研究进展被引量：1
- 2009年
- 主要从声表面波(SAW)结构和敏感膜的角度综述了SAW气体传感器的研究现状。重点分析了国外出现的换能器新型结构,对其优点进行了初步分析,并和传统的SAW气体传感器结构做了比较,指出这些新结构尽管存在一些缺点,目前还不能取代传统的通用式结构,但是在某些特殊场合具有传统结构所不具备的优点。在敏感膜方面,主要从新材料方面入手,分析了目前主要使用的敏感膜材料,并结合SAW气体传感器的发展趋势,总结出敏感膜的发展方向。同时,对SAW气体传感器的其他组成部分如衬底材料和信号处理电路也作了简单的回顾,最后结合国内外研究成果对SAW气体传感器的发展做了展望。
- 李昊峰贾锐李维龙陈晨刘明
- 关键词：声表面波气体传感器换能器插入损耗敏感膜
