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宋强

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇衍射
  • 6篇衍射光学
  • 6篇衍射光学元件
  • 6篇光学
  • 6篇光学元件
  • 4篇调制器
  • 4篇离轴
  • 4篇离轴照明
  • 4篇激光
  • 4篇光调制器
  • 4篇光刻
  • 4篇光刻机
  • 4篇波带片
  • 3篇数值孔径
  • 3篇偏振
  • 3篇空间光调制器
  • 3篇光调制
  • 2篇调控装置
  • 2篇动态画面
  • 2篇旋光

机构

  • 12篇中国科学院上...

作者

  • 12篇宋强
  • 10篇黄惠杰
  • 10篇朱菁
  • 10篇杨宝喜
  • 8篇陈明
  • 8篇张方
  • 4篇肖艳芬
  • 4篇胡中华
  • 4篇李璟
  • 4篇曾爱军
  • 2篇王俊
  • 2篇刘蕾
  • 2篇孙建锋
  • 2篇葛丹丹
  • 2篇李兆泽
  • 2篇周煜
  • 2篇刘立人
  • 2篇黄立华
  • 2篇张宁
  • 2篇许倩

年份

  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2014
  • 3篇2013
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机设备用离轴照明装置
一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
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基于达曼光栅的同步相移干涉装置
一种基于达曼光栅的同步相移干涉装置，该装置由激光器，扩束准直单元，分光棱镜，四象限相位板，合束棱镜，第一反射镜，待测物体，达曼光栅分束整形单元，第二反射镜，会聚透镜，探测器阵列，计算机构成。本发明大大降低了系统的波像差，...
张宁周煜刘立人孙建锋宋强许倩
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基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置
一种基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置，其特点在于该装置包括沿着光束传播方向依次是同轴放置的照明单元、微孔滤波阵列、微透镜阵列扩束准直单元、空间光调制器、傅里叶变换透镜、微投影光学镜头，所述的照明单元由红、绿、蓝三色...
朱菁宋强杨宝喜黄惠杰
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光刻机设备用离轴照明装置
一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
基于达曼光栅的同步相移干涉装置
一种基于达曼光栅的同步相移干涉装置，该装置由激光器，扩束准直单元，分光棱镜，四象限相位板，合束棱镜，第一反射镜，待测物体，达曼光栅分束整形单元，第二反射镜，会聚透镜，探测器阵列，计算机构成。本发明大大降低了系统的波像差，...
张宁周煜刘立人孙建锋宋强许倩
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基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置
一种基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置，其特点在于该装置包括沿着光束传播方向依次是同轴放置的照明单元、微孔滤波阵列、微透镜阵列扩束准直单元、空间光调制器、傅里叶变换透镜、微投影光学镜头，所述的照明单元由红、绿、蓝三色...
朱菁宋强杨宝喜黄惠杰
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三维光场调控装置
一种三维光场调控装置，包括激光器，沿该激光器发出的光束方向依次是同轴的起偏器、衍射光学元件、傅里叶变换透镜、径向偏振光转换器、振幅型波带片和高数值孔径聚焦透镜，所述的衍射光学元件和径向偏振光转换器分别位于所述的傅里叶变换...
朱菁葛丹丹宋强李兆泽张方曾爱军黄惠杰杨宝喜陈明李璟
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基于受激光发射损耗的激光直写曝光装置
一种基于受激发射光损耗激光直写曝光装置，其特点在于其构成包括激发光源、退激发光源、第一空间光调制器、第二空间光调制器、二分之一波片组、二向色镜、相位型波带片、振幅型波带片、高数值孔径消色差物镜和三维扫描平台。本发明可实现...
朱菁黄惠杰杨宝喜宋强张方王键陈明李璟
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光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法
一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连...
张方朱菁黄惠杰宋强杨宝喜陈明曾爱军黄立华胡中华肖艳芬
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光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法
一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连...
张方朱菁黄惠杰宋强杨宝喜陈明曾爱军黄立华胡中华肖艳芬
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