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余健业
作品数:
5
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
邵曼君
中国科学院化工冶金研究所过程工...
黄兰友
中国科学院化工冶金研究所过程工...
刘绪平
中国科学院科学仪器厂
赵万敏
中国科学院化工冶金研究所过程工...
段岳
中国科学院化工冶金研究所过程工...
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作者
5篇
余健业
2篇
刘绪平
2篇
黄兰友
2篇
邵曼君
1篇
李刚
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段岳
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麦振洪
1篇
王瑞兰
1篇
张亮
1篇
李宏成
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谢信能
1篇
赵万敏
1篇
王建波
传媒
4篇
电子显微学报
1篇
低温工程
年份
2篇
1997
1篇
1994
1篇
1992
1篇
1991
共
5
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研究高Tc超导薄膜的低温扫描电子显微镜
被引量:1
1994年
采用减压降温原理研制了以液氮为冷媒的低温样品台系统,并配以电子束脉冲调制系统和微弱信号检测系统,构成了低温扫描电子显微镜。温度范围从65K至室温连续可控变化,温度稳定度为±0.1K。并介绍了用此装置研究GdBa2Cu3O7-X超导薄膜的初步情况。
李刚
戴道扬
余健业
王建波
麦振洪
张亮
李宏成
王瑞兰
关键词:
扫描电子显微镜
一个扫描电镜中频闪系统
1991年
本文讨论了扫描电镜中频闪系统的设计要求和计算方法,介绍了我们的实验系统。采用高能电子束轰击InGaAs二极管,根据所产生的脉冲束感生电流信号判断已获得宽度小于5毫微秒的脉冲电子束。
刘绪平
余健业
黄兰友
关键词:
电子显微镜
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点
被引量:6
1997年
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果。
余健业
谢信能
刘廷壁
邵曼君
邵曼君
关键词:
成像原理
电镜
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅱ.调试与应用
被引量:7
1997年
本文扼要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜在常温通气状态下及高温通气状态下,为获得分辨率优于60nm的图像所必须的参数选择,及在调试过程中所作的改进。同时。
邵曼君
赵万敏
肖骅昭
段岳
余健业
黄兰友
关键词:
电镜
二次电子能量分析器
1992年
本文简明地讨论了二次电子能量分析器的基本原理和设计要点。介绍了我们的实验系统和初步的实验结果,达到了优于10毫伏的电压分辨率。
余健业
刘绪平
黄兰友
关键词:
VLSI
电子能量
分析仪
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