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文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 3篇扫描电镜
  • 2篇电镜
  • 2篇高温环境
  • 1篇电子能量
  • 1篇电子显微镜
  • 1篇仪器特点
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇显微镜
  • 1篇二次电子
  • 1篇分析仪
  • 1篇高TC超导
  • 1篇VLSI
  • 1篇超导
  • 1篇成像
  • 1篇成像原理

机构

  • 3篇中国科学院
  • 2篇中国科学院化...
  • 2篇中国科学院科...

作者

  • 5篇余健业
  • 2篇刘绪平
  • 2篇黄兰友
  • 2篇邵曼君
  • 1篇李刚
  • 1篇段岳
  • 1篇麦振洪
  • 1篇王瑞兰
  • 1篇张亮
  • 1篇李宏成
  • 1篇谢信能
  • 1篇赵万敏
  • 1篇王建波

传媒

  • 4篇电子显微学报
  • 1篇低温工程

年份

  • 2篇1997
  • 1篇1994
  • 1篇1992
  • 1篇1991
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
研究高Tc超导薄膜的低温扫描电子显微镜被引量:1
1994年
采用减压降温原理研制了以液氮为冷媒的低温样品台系统,并配以电子束脉冲调制系统和微弱信号检测系统,构成了低温扫描电子显微镜。温度范围从65K至室温连续可控变化,温度稳定度为±0.1K。并介绍了用此装置研究GdBa2Cu3O7-X超导薄膜的初步情况。
李刚戴道扬余健业王建波麦振洪张亮李宏成王瑞兰
关键词:扫描电子显微镜
一个扫描电镜中频闪系统
1991年
本文讨论了扫描电镜中频闪系统的设计要求和计算方法,介绍了我们的实验系统。采用高能电子束轰击InGaAs二极管,根据所产生的脉冲束感生电流信号判断已获得宽度小于5毫微秒的脉冲电子束。
刘绪平余健业黄兰友
关键词:电子显微镜
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点被引量:6
1997年
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果。
余健业谢信能刘廷壁邵曼君邵曼君
关键词:成像原理电镜
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅱ.调试与应用被引量:7
1997年
本文扼要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜在常温通气状态下及高温通气状态下,为获得分辨率优于60nm的图像所必须的参数选择,及在调试过程中所作的改进。同时。
邵曼君赵万敏肖骅昭段岳余健业黄兰友
关键词:电镜
二次电子能量分析器
1992年
本文简明地讨论了二次电子能量分析器的基本原理和设计要点。介绍了我们的实验系统和初步的实验结果,达到了优于10毫伏的电压分辨率。
余健业刘绪平黄兰友
关键词:VLSI电子能量分析仪
共1页<1>
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