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薄锐
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
云南大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
欧阳焜
云南大学光电信息材料研究所
夏中高
云南大学光电信息材料研究所
杨宇
云南大学光电信息材料研究所
杨杰
云南大学光电信息材料研究所
王茺
云南大学光电信息材料研究所
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溅射
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机构
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云南大学
作者
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薄锐
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王茺
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杨杰
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杨宇
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夏中高
1篇
欧阳焜
传媒
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人工晶体学报
年份
1篇
2010
1篇
2009
共
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缓冲层厚度对Ge/Si多层膜的影响
被引量:2
2009年
采用离子束溅射技术,通过改变Si缓冲层厚度,在p型Si衬底生长了一系列的Ge/Si多层膜样品。利用Raman光谱、X射线小角衍射以及原子力显微镜等分析测试技术,研究了多层薄膜的结晶、膜层结构、表面形貌等性质。结果表明:通过引入缓冲层,在一定程度上可以提高颗粒的结晶性;随着缓冲层逐渐沉积,来自界面态的影响有了明显的减弱,且多层膜结构的生长得到有效改善。红外吸收光谱实验表明多层膜的吸收特性与其周期结构密切相关,因此可以通过改变缓冲层厚度的方法,实现对多层薄膜红外吸收特性的调制。
欧阳焜
王茺
杨杰
夏中高
薄锐
杨宇
关键词:
缓冲层
颗粒尺寸
红外吸收
碳诱导生长Ge/Si纳米点的研究
量子点具有量子化的分立能级和量子限域效应,因此在电学和光学方面具有许多独特的性质,可以做为纳米光电器件的基本传感芯片。而自组装生长的Ge/Si量子点材料可以与现有的Si基CMOS技术相兼容,更受到了很多的关注。目前最主要...
薄锐
关键词:
离子束溅射
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