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射频收发模块中的硅基MEMS移相器研究: 本文在分类介绍了加载线型RFMEMS相移器、开关线型RFMEMS相移器及反射型RFMEMS相移器的基础上，重点研究了一“位”数字式开关线型MEMS相移器及其重要组件——并联接触式MEMS开关。由于开关线型MEMS移相器的...; 蒋菱; 关键词：射频收发模块; 文献传递

Si/SiO_2系统电荷对高阻硅基CPW传输损耗的影响被引量：1: 2007年; 通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。20GHz时,测得上述三种CPW的微波传输损耗分别为-0.88dB、-2.50dB及-1.06dB,因此去除线间氧化层使得传输线损耗降低了1.44dB。此外还测试了高阻硅氧化层和除去线间氧化层的高阻硅氧化层上的两种CPW的传输损耗随外加偏压的变化。; 徐钰石艳玲沈迪胡红梅忻佩胜朱荣锦刘赟蒋菱; 关键词：共平面波导

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蒋菱