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胡曾
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华中师范大学物理科学与技术学院
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发文基金:
湖北省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
董凯峰
华中科技大学光学与电子信息学院...
杨晓非
华中科技大学光学与电子信息学院...
张峰
华中师范大学物理科学与技术学院
崔增丽
华中师范大学物理科学与技术学院
黄致新
华中师范大学物理科学与技术学院
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董凯峰
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1篇
华中师范大学...
年份
1篇
2007
共
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Cu底层对SmCo薄膜磁性能的影响
被引量:1
2007年
通过多靶射频磁控溅射系统在玻璃基片上制备了SmCo/Cu磁性薄膜.采用控制变量法优化了磁性层溅射工艺参数,制备出了矫顽力高达2400 Oe的溅射态SmCo面内磁化膜;通过控制溅射Cu底层时的基片温度,薄膜磁化方向有从面内向垂直方向转变的趋势,并制备出矫顽力达到6215 Oe的垂直面内方向的SmCo/Cu薄膜;利用扫描隧道显微镜(STM)分析SmCo薄膜在不同温度下的表面形貌发现,150℃时薄膜的晶粒尺寸较小有利于改善薄膜磁性能.
张峰
黄致新
胡曾
崔增丽
董凯峰
杨晓非
关键词:
磁控溅射
矫顽力
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