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李英春
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5
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供职机构:
北京有色金属研究总院
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相关领域:
理学
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合作作者
秦福
北京有色金属研究总院
万群
北京有色金属研究总院
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1992
1篇
1991
1篇
1990
2篇
1989
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对坩埚中硅熔体自由表面流的研究
1989年
本文采用观察熔硅自由表面上标记物体移动方式的方法研究了坩埚中自由表面层熔体的流动。提出了熔体中杂质传输的新看法。实验结果证实了自由表面层熔体流动对杂质在晶体中分布的影响。
李英春
万群
秦福
关键词:
坩埚
硅
熔体
制备半导体单晶用的双层坩埚
本实用新型涉及半导体生长用的双层坩埚,它由内、外坩埚组成,内坩埚环状壁为倒置的截圆锥筒状、截棱锥筒状其中的一种,内坩埚上口直径(指拉晶尚未进行时液面处的内坩埚直径)为外坩埚直径的<Image file="91204133...
王体虎
秦福
李英春
文献传递
MCZ法生长硅单晶技术
秦福
李英春
王体虎
关键词:
半导体材料
单晶
晶体生长
晶体缺陷
磁拉法
直拉法硅表面层熔体流动所遵循的线性规律
1989年
本文定量地研究了硅自由表面层熔体的流动规律,用大量实验数据确立了自由表面层熔体径向流动速度与熔体纵横比(D/H)值的线性对应关系。根据这个关系可以成功地解释和处理硅单晶生长过程中的许多相关问题。
李英春
秦福
万群
关键词:
直拉法
硅单晶
晶体生长
熔体
制备半导体单晶用的双层坩埚
本发明涉及半导体生长用的双层坩埚,它由内、外坩埚组成,内坩埚环状壁为倒置的截圆锥筒状、截棱锥简状其中的一种,内坩埚上口直径(指拉晶尚未进行时液面处的内坩埚直径)为外坩埚直径的<Image file="91101682.1...
王体虎
秦福
李英春
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