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东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
作品数:
520
被引量:1,060
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陈德英
陈洁
张会珍
刘柯林
董乔华
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陈德英
作品数:42
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H指数:6
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MCT 新型功率器件 二极管 扭摆式 传感器
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陈洁
作品数:17
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:O2/CO2气氛 CO O MEMS 磁场传感器
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张会珍
作品数:14
被引量:9
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:键合 各向异性腐蚀 硅片直接键合 硅直接键合 硅
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刘柯林
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:电热膜 多孔硅 MIS MIM 发光特性
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董乔华
作品数:11
被引量:13
H指数:2
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:RF_MEMS开关 MEMS开关 自锁 MEMS VCO
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张志强
作品数:10
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 微波功率传感器 KA波段 系统级建模 微波功分器
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吴剑
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 风速风向传感器 温差 风速计 风向传感器
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张骅
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 风向传感器 风速风向传感器 风速计 封装
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王静
作品数:9
被引量:10
H指数:2
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:原子力显微镜 AFM 弹性模量 杨氏模量 电子显微镜
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戚丽娜
作品数:8
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:多晶硅薄膜 热扩散率 时间常数 瞬态分析 瞬态特性
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