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上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室
作品数:
12
被引量:21
H指数:3
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刘晓东
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刘晓东
作品数:3
被引量:3
H指数:1
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:场效应晶体管 肖特基接触 电子束光刻 碳纳米管场效应晶体管 弹性图匹配
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