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沈阳市北宇真空设备厂

作品数：5 被引量：20H指数：3
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合作机构

领域

  • 1个电子电信
  • 1个核科学技术
  • 1个一般工业技术
  • 1个理学

主题

  • 1个氮化
  • 1个氮化钛
  • 1个等离子
  • 1个等离子体
  • 1个等离子体源
  • 1个等离子体制备
  • 1个电极
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机构

  • 1个大连理工大学
  • 1个沈阳市北宇真...
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资助

  • 1个国家自然科学...

传媒

  • 1个核聚变与等离...
  • 1个材料研究学报
  • 1个真空

地区

  • 1个辽宁省
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关秉羽
作品数：11被引量：28H指数：4
供职机构：沈阳市北宇真空设备厂
研究主题：等离子体 非平衡磁控溅射 镀膜机 真空镀膜机 离子源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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