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液相法制备纳米粒子的粒径控制研究: 液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米拉子粒度及其分布...; 张效岩王英张亚非; 关键词：液相法粒径控制化学计量学; 文献传递

硅通孔内铜电沉积填充机理研究进展(英文)被引量：2: 2022年; 上海交通大学多元兼容集成制造技术团队针对TSV互连的深孔填充电镀难题,借助有限元软件和任意拉格朗日-欧拉算法,完成了方程组的数值解算,实现了TSV填充模式的数值仿真。利用有限元和任意拉格朗日-欧拉算法分析了盲孔的填充机制,通孔的蝴蝶形式的电镀填充过程,以及不同深宽比孔的同时填充模式,并利用仿真数据进行了样品的研制及参数优化。分析了电镀的电流密度和热处理温度对电镀填充TSV-Cu的力学属性的影响。通过原位压缩试验研究了电流密度对TSV-Cu的力学性能和显微组织的影响。利用单轴薄膜拉伸试验分析了热处理工艺对TSV-Cu材料属性的影响。结果表明,随着热处理温度的升高,TSV-Cu的断裂强度和屈服强度明显下降,杨氏模量呈波纹状变化但变化趋势缓慢。基于上述研究结果,研究了热失配应力所导致的互连结构热变形机制,通过自主搭建的原位测试系统,实时观测TSV-Cu随温度变化而产生的变形大小,以研究影响TSV-Cu互连热应力应变的规律。结果表明,TSV-Cu的热变形过程分为弹性变形阶段、类塑性强化阶段以及塑性变形阶段。; 孙云娜吴永进谢东东蔡涵王艳丁桂甫; 关键词：数值模拟

纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究: 采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刺蚀技术进行了纳米刘蚀研究。实验结果表明,采用纳米拉子单层膜作为掩模,通过控制反应...; 王英杨明来张效岩蔡炳初徐东张亚非; 关键词：LB膜掩模纳米刻蚀; 文献传递

圆盘型非接触压电微马达定子的振动分析被引量：2: 2005年; 提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定子的设计和优化提供了理论依据。; 周广华杨斌刘景全蔡炳初; 关键词：压电马达非接触定子有限元方法

基于智能复合微结构的亚手掌尺度压电双驱扑翼微飞行器的研究: 2020年; 该文设计、制作和研究了一种亚手掌尺度的双驱扑翼微飞行器。飞行器主要采用多层平面材料的智能复合微结构(SCM)加工工艺进行加工。装配得到的样机整机质量为244 mg,翼展61 mm。对样机的压电驱动器性能进行了测试。测试结果表明,压电驱动器空载共振频率约为1100 Hz,负载共振频率约为28 Hz;对样机进行了升力测试,得到样机的升力为0.689 mN。; 魏铭辰张卫平王晨阳赵佳欣孟冉; 关键词：传动机构激光切割

仿昆扑翼微飞行器中高效传动铰链的研究被引量：9: 2014年; 针对仿昆扑翼微飞行器对高效传动铰链的要求,从几何约束、应力条件、临界屈曲条件等方面,结合电磁驱动仿昆扑翼微飞行器对异质复合型柔性铰链进行了研究,给出了铰链的设计方法;研究了预应力对整个传动机构并联刚度以及铰链连接方式对整个传动机构串联刚度的影响;得到了传动机构中各铰链的宽度、厚度、长度、旋转刚度等设计参数.结果表明,整个传动机构的串联刚度是其并联刚度的135倍,满足了高效传递能量的要求;翅膀扑打角峰峰值达到了99.6°,较好符合了仿昆扑翼微飞行器的设计要求.; 邹才均张卫平柯希俊邵云立张伟柴双双胡楠叶以楠陈文元; 关键词：设计方法

可集成制造的平面型电磁直线作动器研究: 2022年; 电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势,在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用,但受限于体积大、制造工艺复杂,难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题,应用平面型集成线圈及高深宽比微结构设计,制造了一种微型化电磁作动器的原型样机,初步测试结果表明,器件的输出力可达毫牛量级,输出位移大于50μm,响应时间小于10 ms,为进一步开展相关器件研究探明了可行的技术路径。; 武强管伟昌戴旭涵王怀治高宇帆丁桂甫

微流控静态液滴阵列芯片制备非球形微粒: 2018年; 针对静态液滴阵列（SDA）微流控芯片中的毛细阀现象进行机制研究,探讨了流阻及表面张力对SDA芯片中微液滴的生成与存储过程的影响。通过Fluent软件模拟流体流动情况,并对照实验结果进行讨论,同时通过OpenCV图像处理技术实时监测流量变化,进一步验证毛细阀现象。提出了一种利用微结构模版法制备非球形微粒的新方法,通过将微液滴置于4℃低温环境下冷却固化,制得与芯片捕获结构相近的微米级非球形琼脂糖微粒,证实了该方法的可行性。该方法具有成本低、易操作、可控性高等优点,为未来制作非球形微粒提供了一个新途径。; 曹梦佳张维军曹哲于洋程丹彤陈翔刘景全王晓林杨斌; 关键词：微流控芯片

微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究被引量：7: 2008年; 为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐增加;在永磁体半径不断增加的过程中,输出电动势会出现一极大值。根据优化原则设计出结构参数如下的模型:圆形SmCo28永磁体厚度为1 mm,半径为2 mm,悬臂梁振幅为1 mm,永磁体和悬臂梁之间的距离为1.02 mm。该模型的最大输出电动势为26 mV,最大输出功率为5.633μW。; 王佩红戴旭涵方东明赵小林; 关键词：半导体技术结构优化计算机仿真

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上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室