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阿奥依株式会社

作品数：12 被引量：0H指数：0
相关机构：佳能特机株式会社丰田自动车株式会社株式会社沙迪克更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 12篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 5篇基板
  • 4篇电极
  • 4篇电子设备
  • 3篇掩模
  • 3篇附体
  • 3篇成膜
  • 2篇电压
  • 2篇电压控制
  • 2篇电子器件
  • 2篇热塑性
  • 2篇物性
  • 2篇耐久
  • 2篇耐久性
  • 2篇聚醚
  • 2篇聚醚酯
  • 2篇卡盘
  • 2篇捆扎
  • 2篇根管
  • 2篇粉尘
  • 2篇高耐久性

机构

  • 12篇阿奥依株式会...
  • 8篇佳能特机株式...
  • 2篇丰田自动车株...
  • 1篇株式会社沙迪...

年份

  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 5篇2019
  • 1篇2014
  • 1篇2011
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
静电吸盘、成膜装置、基板的保持及分离方法、成膜方法
本发明的静电吸盘，包括：包括电极部的基板保持部；对所述电极部施加电压的电压施加部；对由所述电压施加部向所述电极部施加的电压进行控制的电压控制部，所述静电吸盘包括多个基板保持部，所述电压施加部对所述多个基板保持部施加用于保...
柏仓一史石井博细谷映之
吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法
根据本发明，在对准时，被吸附于静电吸盘的基板不与掩模接触，以便在对准以后，基板和掩模这两者被充分吸附于静电吸盘。本发明的吸附装置包含有：吸附第一被吸附体和第二被吸附体且具有第一电极和第二电极的静电吸盘；对第一电极和第二电...
柏仓一史石井博川畑泰代诸桥悟富井广树细谷映之
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静电吸盘、成膜装置、基板的保持及分离方法、成膜方法及电子设备的制造方法
本发明的静电吸盘，包括：包括电极部的基板保持部；对所述电极部施加电压的电压施加部；对由所述电压施加部向所述电极部施加的电压进行控制的电压控制部，所述静电吸盘包括多个基板保持部，所述电压施加部对所述多个基板保持部施加用于保...
柏仓一史石井博细谷映之
文献传递
管子保持结构
本发明提供一种管子保持结构，能够抑制产生粉尘并减轻振动。该管子保持结构(1)具备：由挠性材料形成的多根的管子(10)；以及将这些管子(10)在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式保持的保持体(20)。多根的管子(10)具...
细谷映之菊地滋山田哲也冈嵜祐太
文献传递
静电吸盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子设备的制造方法
本发明的静电吸盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括：包括电极部的静电吸盘；用于向上述静电吸盘的上述电极部施加电位差的电位差施加部；以及用于控制由上述电位差施加部施加的电位差的电位差控制部，上述电位差控制部进行控制，使...
柏仓一史石井博细谷映之
文献传递
成膜装置、成膜方法、以及电子设备的制造方法
本发明提供一种成膜装置、成膜方法、以及电子设备的制造方法，该成膜装置包括：静电卡盘，其用于保持基板；掩模台，其设置在所述静电卡盘的基板保持面侧，用于保持掩模；磁力施加机构，其设置在所述静电卡盘的与基板保持面相反的一侧，用...
柏仓一史石井博细谷映之
可用于旋转、弯曲等运转部的高耐久性管及其制造方法
本发明的课题在于提供一种可用于旋转、弯曲等运转部的高耐久性管以及其制造方法，该管具有能够耐受严酷的弯曲、伸缩、扭曲等的物性，且可降低管间或与其它部件相接触时的滑动阻力。作为解决上述课题的手段，该管是用于如下制品的管：该制...
加藤亮 细谷欣司 细谷映之 菊地滋
成膜装置、成膜方法及有机EL显示装置的制造方法
本发明的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设...
柏仓一史石井博细谷映之
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吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法
本发明涉及吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法。使静电吸盘良好地吸附被吸附体。本发明的吸附装置的特征在于，具有：支撑单元，所述支撑单元支撑被吸附体的第一主面的周缘部，所述被吸附体具有所述第一主面和该...
石井博诸桥悟川畑奉代柏仓一史富井广树细谷映之上田利幸
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管子保持结构
本发明提供一种管子保持结构，能够抑制产生粉尘并减轻振动。该管子保持结构(1)具备：由挠性材料形成的多根的管子(10)；以及将这些管子(10)在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式保持的保持体(20)。多根的管子(10)具...
细谷映之菊地滋山田哲也冈嵜祐太
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