您的位置： 专家智库 > >

佳能特机株式会社

作品数：606 被引量：0H指数：0
相关机构：阿奥依株式会社株式会社沙迪克佳能株式会社更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 606篇中文专利

领域

  • 131篇电子电信
  • 68篇文化科学
  • 46篇自动化与计算...
  • 8篇金属学及工艺
  • 8篇建筑科学
  • 8篇医药卫生
  • 7篇环境科学与工...
  • 4篇经济管理
  • 4篇电气工程
  • 3篇天文地球
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 2篇轻工技术与工...
  • 1篇机械工程
  • 1篇文学

主题

  • 355篇基板
  • 310篇成膜
  • 227篇电子器件
  • 183篇掩模
  • 139篇支承
  • 43篇制造装置
  • 40篇收容
  • 38篇真空
  • 38篇板载
  • 33篇电子设备
  • 30篇磁力
  • 27篇蒸发
  • 27篇控制部件
  • 26篇膜厚
  • 26篇附体
  • 25篇静电
  • 25篇溅射
  • 23篇电压
  • 23篇对准标记
  • 23篇按压

机构

  • 606篇佳能特机株式...
  • 8篇阿奥依株式会...
  • 7篇株式会社沙迪...
  • 4篇佳能株式会社
  • 2篇大日本印刷株...
  • 2篇安达满纳米奇...
  • 1篇电装株式会社

年份

  • 50篇2024
  • 165篇2023
  • 92篇2022
  • 87篇2021
  • 92篇2020
  • 78篇2019
  • 22篇2018
  • 7篇2017
  • 7篇2016
  • 4篇2015
  • 2篇2013
共 606 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
加热器支架以及加热器装置
本实用新型提供一种加热器支架以及加热器装置，通过抑制或防止与加热器接触的部分的侵蚀，能够抑制或防止加热器的脱落、加热器的卷线间的短路。至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体来制成加热器支架。由于能够对与加热器的接...
宫崎真行小暮公男松本康裕风间良秋市原正浩
文献传递
基板保持装置、成膜方法及电子器件的制造方法
本发明提供一种使用粘着构件良好地保持基板用的技术。其特征在于，具备：使基板(10)沿着包含与保持面(110X)垂直的第一方向在内的方向移动的基板移动机构；具有按压基板(10)的按压部(450)的按压机构；以及控制所述基板...
村上伸辅户江由也下窄义行
文献传递
成膜装置、成膜方法以及有机EL显示装置的制造方法
本发明的成膜装置包括基板保持单元和基板吸附机构，所述基板保持单元包括用于支承基板的周缘部的支承部，所述基板吸附机构设置于所述支承部的上方，用于吸附基板，所述支承部包括设置于第一方向的第一支承部件，和以与所述第一支承部件相...
石井博柏仓一史
文献传递
蒸发源
提供蒸发源，其使接触所导致的热变动的影响难以波及蒸镀材料，能够使蒸镀材料的温度分布均匀化，能够实现蒸镀材料蒸发量的稳定化。蒸发源包含如下部分：坩埚(2)，其中可填充蒸镀材料(1)；加热部(3)，其被设成包围该坩埚(2)；...
近藤喜成山田尚人小林义仁佐藤聪松本荣一
文献传递
基板载置方法、电子设备的制造方法及基板载置装置
本发明提供一种基板载置方法、对准方法、成膜方法、电子设备的制造方法及基板载置装置，不仅能够使基板和掩模良好地紧贴，而且能够使基板稳定地移动，并且能够防止载置到掩模上时的基板的位置偏移。具有将基板(1)在用按压工具(8)推...
石井博佐藤智之铃木健太郎
搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置
本发明提供搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置，通过配置磁铁来提高集尘辊的集尘效率及维护的容易度。基板的搬送装置具备搬送被载置的基板的搬送辊和包围搬送辊的罩单元，罩单元包括设置在搬送辊的下方的托盘和设置在托...
涩谷孝史
文献传递
测量装置
本发明提供一种测量装置，用于精度良好地测量在基板上成膜的蒸镀材料的膜厚。该测量装置具备多个支承件，其支承基板的周缘；以及膜厚测量器，其测量在基板上形成的蒸镀膜的膜厚，多个支承件包括：多个第一支承件，其支承基板的第一边；以...
渡边一弘菅原洋纪
对准系统、成膜装置、对准方法、成膜方法以及电子器件的制造方法
本发明提供一种对准系统、成膜装置、对准方法、成膜方法以及电子器件的制造方法。对准系统用于调整基板与掩模的相对位置，其特征在于，包括：静电卡盘，所述静电卡盘用于吸附所述基板；分离状态检测机构，所述分离状态检测机构用于检测所...
柏仓一史石井博
输送装置以及成膜装置
本发明涉及输送装置以及成膜装置。提供一种能够在输送对象物的输送路径上进行其定位的技术。本发明的输送装置具备：腔室，其形成维持为真空的输送空间；输送部件，其在所述腔室内将输送对象物在输送方向上进行输送；第一限制部件，其限制...
足立将树铃木孝宗
基板处理装置及对准方法
本发明提供一种使用按照各输送路径进行了分组化的移动信息，在对准前能够事先对基板进行移动控制，从而能更有效地进行对准的基板处理装置及对准方法，所述各输送路径由于前处理室的差异或输送机器人的机械手的差异等而不同。基板处理装置...
小林康信
全选 清除 导出
共61页<12345678910>
聚类工具0