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上海新微技术研发中心有限公司
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上海功成半导体科技有限公司
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作者
1篇
龚谦
1篇
刘胜
1篇
张颖
1篇
罗源
1篇
刘会聪
1篇
董菲
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张菁华
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49篇
2017
8篇
2016
30篇
2015
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995
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基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片的制造方法
本发明提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片的制造方法,包括提供CMOS图像传感层,在CMOS图像传感层上形成厚度为15~30μm高分子聚合材料的下包层;在25‑150℃沉积温度下在下包层上沉积形成氮化硅材料的...
陈昌
刘博
豆传国
文献传递
一种室内定位方法
本发明提供一种室内定位方法,包括:1)于定位空间设置若干个固定设备,各固定设备形成双向链形结构;2)各固定设备上电后进行同步定标,系统运行后根据各个固定设备之间的误差累计情况决定两次同步定标之间的时间间隔;3)移动设备进...
黄建华
李宏
一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构及其制造方法
本发明提供一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构及其制造方法,包括:在基板的第一主面一侧形成有一个或两个以上热子以及在所述热子表面形成有吸气剂薄膜,其中,所述热子包括:第一绝缘薄膜,在第一绝缘薄膜上表面形成的薄膜电阻,以及覆...
季宇成
王诗男
陈朔
郭松
冯刘昊东
彭鑫林
许杨
一种压电喷头结构及其制造方法
本申请提供一种压电喷头结构及其制造方法。该压电喷头结构包括至少一个压电基板单元和围封部件,其中,所述压电基板单元包括:压电基板,在该压电基板的一个主面上形成的沟道;以及在该沟道的至少侧壁上形成的驱动电极,所述围封部件对该...
王诗男
文献传递
金属薄膜图形的制造方法
本申请提供一种金属薄膜图形的制造方法,包括:在基板表面沉积金属薄膜,在所述金属薄膜上面形成聚合物胶层,在所述聚合物胶层上面形成感光性光刻胶层;对所述感光性光刻胶进行曝光和显影,从而将所述感光性光刻胶图形化,形成第一刻蚀窗...
季宇成
龚燕飞
陈朔
郭松
彭鑫林
冯刘昊东
王诗男
一种微流控细胞分选芯片
本实用新型提供一种微流控细胞分选芯片,该微流控细胞分选芯片采用多级分选结构,分选通道由宽到细,保证了分选的高通量和高精度。结合热泡打印头或其它驱动装置,使细胞分选更加便捷高效。通过进一步设置前置缓冲液进样口,可以避免细胞...
王琨
关一民
文献传递
低速率无线通信快速OTA的方法
本发明提供一种低速率无线通信快速OTA的方法,包括:步骤100:下载需要更换的第一功能代码至备份区域;步骤200:BOOT区域将所述第一功能代码更换至第三扇区块,指向函数指针体固定置于所述第三扇区块首页;步骤300:根据...
张廷禄
文献传递
一种半导体器件及其制造方法
本申请提供一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件具有由导电材料围合而成的腔体,该腔体能够缓冲主动端结构体和被动端结构体彼此接触时的作用力,并且,该导电材料能够将接触产生的静电导走,避免静电效应产生,由此,避免碰触与撞击...
梁凯智
文献传递
一种n型碲化铋热电厚膜制备方法及装置
本发明提供了一种n型碲化铋热电厚膜制备方法及装置,所述方法包括:获取氮化铝衬底;预设磁控溅射参数;根据所述磁控溅射参数,利用碲化铋靶和碲靶对所述氮化铝衬底进行所述磁控溅射处理,得到第一热电厚膜;对所述第一热电厚膜进行阶梯...
陈赟斐
吴炫烨
一种波导型光电探测器及其制备方法
本申请提供一种波导型光电探测器及其制备方法。该波导型光电探测器包括:形成于绝缘体上的硅衬底的顶层硅中的第一掺杂硅区;形成于第一掺杂硅区表面的本征硅层;形成于本征硅层表面的第二掺杂硅层,第二掺杂硅层为N型掺杂;形成于第二掺...
涂芝娟
汪巍
余明斌
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