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上海精测半导体技术有限公司

作品数：261 被引量：11H指数：2
相关机构：华中科技大学上海新微技术研发中心有限公司复旦大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 258篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 76篇自动化与计算...
  • 21篇机械工程
  • 19篇理学
  • 16篇文化科学
  • 11篇电子电信
  • 4篇医药卫生
  • 3篇交通运输工程
  • 2篇经济管理
  • 2篇电气工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇建筑科学
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 45篇图像
  • 29篇光学
  • 28篇晶圆
  • 27篇光谱
  • 22篇光束
  • 21篇入射
  • 20篇膜厚
  • 20篇激光
  • 20篇测量方法
  • 19篇散射
  • 18篇模板图像
  • 17篇半导体
  • 16篇光声
  • 14篇信号
  • 13篇像素
  • 12篇形貌
  • 11篇半导体设备
  • 10篇偏振
  • 9篇复检
  • 8篇探测器

机构

  • 261篇上海精测半导...
  • 12篇华中科技大学
  • 9篇上海新微技术...
  • 5篇复旦大学
  • 5篇上海隐冠半导...
  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 5篇刘世元
  • 4篇陈修国
  • 1篇孙勇

传媒

  • 2篇汽车测试报告
  • 1篇流体测量与控...

年份

  • 27篇2024
  • 63篇2023
  • 78篇2022
  • 43篇2021
  • 38篇2020
  • 12篇2019
共 261 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
扫描方法、控制装置、检测单元及生产系统
本发明公开了一种扫描方法、控制装置、检测单元及生产系统，扫描方法包括以下步骤：根据预设指令对位于转动台上硅片的待扫描区域进行划分，得到至少两个扫描分区，其中，相邻的两个扫描分区之间的界限的一端位于待扫描区域的边界上，另一...
刘亮李仲禹
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一种用于小角X射线测量装置的校准装置及校准方法
本发明属于光学校准相关技术领域，其公开了一种用于小角X射线测量装置的校准装置及校准方法，校准装置包括标准样品架，标准样品架包括金属架体，以及设于所述金属架体上的距离校准样品、衰减样品块和多个荧光十字标记，所述金属架体设于...
陈修国崔仁铎刘世元张家豪李仲禹马骏
柔性面板整平装置以及方法
本发明提供了一种柔性面板整平装置及方法，该装置包括：由底板与顶板对合并形成的载台及吸气组件；底板朝向顶板的面设置有嵌套布置的若干凹槽，以基于凹槽围合形成若干隔离的气腔，吸气组件与气腔连通；顶板形成嵌套布置的若干主吸附区，...
项洁王理华
文献传递
一种表面检测装置及方法
本发明公开一种表面检测装置及方法，包括：转动机构、沿光线传播路径依次排列的第一反射模块、聚光模块和收光模块；第一反射模块、聚光模块和收光模块固定于转动机构；转动机构内设置有包括一竖直部和多个倾斜部的通孔；第一反射模块设置...
张濛园李仲禹韩晓荣
文献传递
光谱库索引树的创建方法、光谱库搜索方法
本发明提供了一种光谱库索引树的创建方法、光谱库搜索方法，所述光谱库索引树的创建方法包括：建立光谱库L，所述光谱库L中包括N条理论光谱，所述理论光谱包含k个离散波长点，其中，N、k均为大于1的整数；对所述N条理论光谱进行多...
项雅波郭春付石雅婷李伟奇张传维
一种椭偏仪光强自动调节方法及装置
本发明提供一种椭偏仪光强自动调节方法及装置，该方法包括：在设定的积分时间内，对采集点积分得到的光强谐波信号；根据设定的采样点数目，求解测量信号的傅里叶系数，当光强信号饱和或欠饱和时，则通过光强信号阈值判断调节探测器的积分...
马骏李伟奇史玉托陈军张传维郭春付
真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备
本发明提供了一种真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备，真空门阀，活动闭合或打开与腔室连通的第一通孔，并包括阀门杆，与阀门杆随动的主动球，围合主动球的套筒，活动连接套筒的门板，门板容置与主动球抵持的被动球，以及驱动机构；通...
沈晓天张旭
文献传递
图形化原位放大电子探测器及电子探测装置
本发明提供一种图形化原位放大电子探测器，包括：第一半导体层；源区和漏区，间隔设置于第一半导体层的第一面的表层；图形沟槽，形成于第一半导体层的第一面的沟道区中；底部掺杂区，形成于第一半导体层第二面表层；介质层，设置于第一半...
胡立磊张力罗浒任嘉莹张旭陈昌
一种宽光谱椭偏测量设备
本发明提供了一种宽光谱椭偏测量设备，包括工件台、发射宽波段光束的宽光谱光源、入射光调整组件、光束汇聚模块、对准系统、控制系统和探测器；入射光调节组件将宽波段光束分解为至少两束不同波长光束，并调整不同波长光束的传输方向；光...
张洪松刘亮
一种双侧斐索干涉仪检测装置
一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准...
魏相宇唐锋卢云君郭福东王向朝陈梦来
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