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中国科学院知识创新工程重要方向项目(Y2YF028001)
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夏洋
刘邦武
李超波
李勇
李惠琪
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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刘邦武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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李勇
供职机构:山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题:原子层沉积 催化剂 ALD 分离膜 互连技术
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李惠琪
供职机构:山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题:等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金 截齿 等离子炬
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何静
供职机构:中国石油大学(北京)
研究主题:液相沉积 二氧化硅薄膜 减反射膜 液相沉积法 反射率
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唐立丹
供职机构:辽宁工业大学材料科学与工程学院
研究主题:脉冲电磁场 钙钛矿 太阳能电池 水热法 纳米棒阵列
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万军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
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钟思华
供职机构:上海交通大学
研究主题:硅太阳电池 太阳电池 硅片表面 晶体硅 金属纳米颗粒
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邵长金
供职机构:中国石油大学(北京)理学院
研究主题:渗透率 水平缝 染料敏化太阳能电池 多孔介质 含蜡原油
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