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国家自然科学基金(60706001)
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肖清华
屠海令
徐文婷
常青
王敬欣
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相关机构:
北京有色金属研究总院
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肖清华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
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徐文婷
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:数值模拟 SI 离子注入 硅单晶 固液界面
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屠海令
供职机构:国家工程研究中心
研究主题:硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
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王敬欣
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:轮轨噪声 正极材料 稀土 封装材料 硅铝合金
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