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国家自然科学基金(60976080)

作品数：2 被引量：2H指数：1
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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖育华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 框架梁 内侧面 对称性 梁结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈琳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 干法刻蚀 静电力 位错 塑性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 塑性变形 蛇形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：微机电系统 MEMS 电磁式 SI 仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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