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国家自然科学基金(60976017)

作品数：3 被引量：12H指数：1
相关作者：王磊高超群惠瑜景玉鹏更多>>
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地区

  • 4个北京市
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高超群
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：气敏传感器 红外光 非制冷红外成像 谱式 二氧化碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：二次谐波 临界态 光刻胶 硅片 厚层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
惠瑜
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 反应气体 二氧化碳超临界流体 二氧化碳 流量控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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