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国家高技术研究发展计划(2002AA404430)
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甘志银
刘胜
易新建
陈四海
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易新建
供职机构:华中科技大学
研究主题:微透镜阵列 红外探测器 红外焦平面阵列 微透镜 离子束刻蚀
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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陈四海
供职机构:华中科技大学
研究主题:氧化钒薄膜 半导体光放大器 偏振无关 氧化钒 衍射效率
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陈明祥
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:封装 陶瓷基板 焊膏 微机电系统 MEMS
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刘胜
供职机构:武汉大学动力与机械学院
研究主题:激光技术 激光超声 激光 金属 无损检测
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