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国家科技重大专项(2009ZX02308)

作品数：19 被引量：68H指数：6
相关作者：刘玉岭王辰伟周云飞刘效岩程鑫更多>>
相关机构：河北工业大学华中科技大学武汉理工大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项天津市自然科学基金河北省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 37个电子电信
  • 19个自动化与计算...
  • 16个金属学及工艺
  • 14个电气工程
  • 13个理学
  • 12个化学工程
  • 12个一般工业技术
  • 9个文化科学
  • 7个环境科学与工...
  • 6个机械工程
  • 6个交通运输工程
  • 3个经济管理
  • 3个石油与天然气...
  • 3个冶金工程
  • 3个建筑科学
  • 3个自然科学总论
  • 2个哲学宗教
  • 2个动力工程及工...
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个医药卫生

主题

  • 32个CMP
  • 31个化学机械抛光
  • 31个机械抛光
  • 27个抛光液
  • 25个去除速率
  • 25个碱性抛光液
  • 24个铜布线
  • 20个抛光
  • 20个平坦化
  • 20个化学机械平坦...
  • 17个抛光速率
  • 17个磨料
  • 16个电路
  • 15个阻挡层
  • 15个互连
  • 15个碱性
  • 14个纳米
  • 13个碟形
  • 13个稳定性
  • 12个速率

机构

  • 33个河北工业大学
  • 6个华中科技大学
  • 1个广西大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津大学
  • 1个石家庄学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个天津理工大学
  • 1个武汉理工大学
  • 1个新疆师范大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个北京七星华创...

资助

  • 39个国家科技重大...
  • 25个河北省自然科...
  • 24个国家中长期科...
  • 21个国家自然科学...
  • 14个天津市自然科...
  • 9个国家教育部博...
  • 9个河北省高等学...
  • 9个河北省教育厅...
  • 5个博士科研启动...
  • 5个河北省科技计...
  • 4个河北省教育厅...
  • 4个河北省教育厅...
  • 4个教育部重点实...
  • 4个天津市重大科...
  • 3个博士后科研启...
  • 3个天津市科技攻...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个新疆维吾尔自...
  • 2个河北省科技厅...
  • 2个河北省科技支...

传媒

  • 29个半导体技术
  • 29个微纳电子技术
  • 15个功能材料
  • 9个河北工业大学...
  • 9个微电子学
  • 7个Journa...
  • 7个电镀与涂饰
  • 7个稀有金属
  • 6个电子设计工程
  • 5个稀有金属材料...
  • 5个天津科技
  • 5个仪表技术与传...
  • 5个人工晶体学报
  • 5个第十四届全国...
  • 4个中国机械工程
  • 4个微细加工技术
  • 3个电子工艺技术
  • 3个表面技术
  • 3个河北科技大学...
  • 3个电子器件

地区

  • 27个天津市
  • 6个湖北省
  • 4个河北省
  • 1个北京市
  • 1个新疆
共 39 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周云飞
供职机构：华中科技大学
研究主题：数控加工 数控机床 高速高精 误差补偿 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程鑫
供职机构：武汉理工大学
研究主题：磁悬浮轴承 磁悬浮 磁悬浮列车 热电材料 真空管道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑伟艳
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹康达
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：碱性抛光液 CMP 化学机械平坦化 选择性 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田雨
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 粗糙度 表面粗糙度 磨料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田巧伟
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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