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国家重点基础研究发展计划(2003CB716201)
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李玉和
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李玉和
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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胡元中
供职机构:清华大学
研究主题:分子动力学模拟 碳纳米管 表面力仪 润滑 分子动力学
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王慧
供职机构:清华大学
研究主题:分子动力学模拟 碳纳米管 降解 基因工程菌 表面力仪
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段瑞玲
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:微装配 图像处理 微机电系统 边缘检测 图像边缘检测方法
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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彭倚天
供职机构:东南大学
研究主题:碳纳米管 自组装膜 SAMS 自组装单层膜 多壁碳纳米管
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雷红
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
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杨再华
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:自动调焦 图像清晰度 边缘检测 数字图像 测试转台
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