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中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX1-Y-8)
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顾文琪
方光荣
刘伟
刘珠明
刘伟
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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刘珠明
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:热反射 电子束曝光机 热光伏电池 光学 微光刻技术
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
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刘伟
供职机构:山东理工大学电气与电子工程学院
研究主题:动态光散射 散射 粒度分布 反演 正则化
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:成像系统 图形发生器
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郭颖
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 图形发生器 DSP 主控制器 通用串行总线
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赵艳雷
供职机构:山东理工大学
研究主题:定频 微电网 配电网 MMC 风电
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魏淑华
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:成像系统 图形发生器
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刘伟
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光 电子束曝光机 USB2.0接口 复杂可编程逻辑器件
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