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国家自然科学基金(60776030)

作品数：7 被引量：5H指数：1
相关作者：徐秋霞陈大鹏孟令款殷华湘叶甜春更多>>
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相关领域：电子电信理学更多>>

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孟令款
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 掩模 半导体器件 粗糙度 电子束光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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