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国家质检公益性行业科研专项(201110051)

作品数：2 被引量：13H指数：2
相关作者：傅云霞李源吴俊杰蔡潇雨雷李华更多>>
相关机构：上海市计量测试技术研究院中国计量学院上海交通大学更多>>
发文基金：国家质检公益性行业科研专项上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 9个机械工程
  • 9个一般工业技术
  • 8个自动化与计算...
  • 7个电子电信
  • 6个理学
  • 5个文化科学
  • 4个金属学及工艺
  • 3个经济管理
  • 3个电气工程
  • 3个交通运输工程
  • 1个天文地球
  • 1个化学工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个环境科学与工...
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学
  • 1个社会学

主题

  • 8个电容传感器
  • 8个感器
  • 7个信号
  • 7个面粗糙度
  • 7个纳米
  • 6个电容式
  • 6个镀膜
  • 6个镀膜工艺
  • 6个镀膜技术
  • 6个微机电系统
  • 6个机电系统
  • 5个电容
  • 5个电容检测
  • 4个导轨
  • 4个低频振动
  • 4个电极
  • 4个调制
  • 3个定标
  • 3个信号切换
  • 3个信号显示

机构

  • 8个上海市计量测...
  • 6个上海交通大学
  • 5个中国计量学院
  • 1个华东师范大学
  • 1个教育部
  • 1个天津大学
  • 1个同济大学

资助

  • 9个上海市科委纳...
  • 9个国家质检公益...
  • 8个国家自然科学...
  • 5个上海市质量技...
  • 5个中国航空科学...
  • 4个国家重大科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个上海市自然科...
  • 3个国家质检总局...
  • 3个国家重点实验...
  • 2个山东省自然科...
  • 2个江苏省“六大...
  • 2个国防科技工业...
  • 2个山东省高等学...
  • 2个上海市“科技...
  • 1个教育部南开大...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 8个光学精密工程
  • 7个微纳电子技术
  • 5个红外与激光工...
  • 5个传感器与微系...
  • 4个计量学报
  • 4个光学学报
  • 4个上海计量测试
  • 3个自动化仪表
  • 3个中国计量
  • 3个传感技术学报
  • 3个中国仪器仪表...
  • 2个中国激光
  • 2个仪表技术与传...
  • 2个电子测量与仪...
  • 2个航空科学技术
  • 2个压电与声光
  • 2个实验与分析
  • 2个中国测试
  • 2个计量科学与技...
  • 2个第十九届全国...

地区

  • 9个上海市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
傅云霞
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：激光跟踪仪 光栅 纳米 测头 校准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李源
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高婧
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：分辨率 合作共赢 监视器 数据采集和处理 低损耗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何明轩
供职机构：上海交通大学
研究主题：MEMS 校准 微机电系统 电容式 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪红
供职机构：上海交通大学
研究主题：TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴俊杰
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡潇雨
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：白光干涉 原子力显微镜 纳米 MES 微球
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢歆
供职机构：上海交通大学
研究主题：纳米测量机 高灵敏度 可变电容 微加工 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雷李华
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：光栅 纳米 校准 计量学 膜厚
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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