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国家杰出青年科学基金(50325519)

作品数：36 被引量：73H指数：5
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李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄庆安
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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周再发
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鉴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 磁场传感器 洛伦兹力 FMCW ICP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈新安
供职机构：绍兴文理学院
研究主题：太阳能板 车窗 侧窗 百叶窗 后窗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳辉
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：牺牲层腐蚀 计算机仿真 牺牲层 腐蚀速率 差分算法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯明
供职机构：东南大学
研究主题：SU-8胶 光刻模拟 深紫外 菲涅尔衍射 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓伟
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS器件 版图 MEMS 各向异性腐蚀 微加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王涓
供职机构：东南大学
研究主题：各向异性 微加工技术 微机电系统 各向异性腐蚀 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢伟
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：光刻胶 刻蚀 元胞自动机 光刻 光刻模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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