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国家自然科学基金(50805040)
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陈立国
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李昕欣
孙立宁
刘柏旭
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陈立国
供职机构:苏州大学
研究主题:MEMS 电极 阳极键合 显微视觉 键合
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孙立宁
供职机构:苏州大学
研究主题:机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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陈涛
供职机构:苏州大学
研究主题:传感器 夹持器 机器人 夹持 电极
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刘柏旭
供职机构:哈尔滨工业大学机电工程学院机器人研究所
研究主题:微夹持器 微操作 微机电系统 气动 MEMS
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荣伟彬
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:激光陀螺 微操作 压电陶瓷 微操作机器人 柔性铰链
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王家畴
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 单晶硅 衬底 热电堆 热偶
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邵兵
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:捕获 ATP系统 自由空间光通信 机器人辅助 微创外科手术
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