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国家高技术研究发展计划(2003AA404010)

作品数：15 被引量：28H指数：4
相关作者：黄庆安李伟华陈新安许高斌周再发更多>>
相关机构：东南大学兰州大学绍兴文理学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>

领域

  • 13个电子电信
  • 11个一般工业技术
  • 10个自动化与计算...
  • 10个理学
  • 7个化学工程
  • 7个机械工程
  • 6个电气工程
  • 6个文化科学
  • 5个金属学及工艺
  • 4个经济管理
  • 4个动力工程及工...
  • 4个建筑科学
  • 4个交通运输工程
  • 4个农业科学
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个医药卫生
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个冶金工程

主题

  • 9个多晶
  • 8个电路
  • 8个多晶硅
  • 8个多晶硅薄膜
  • 8个微电子
  • 8个微电子机械
  • 8个微电子机械系...
  • 8个硅薄膜
  • 7个单晶
  • 6个导体
  • 6个电极
  • 5个单晶硅
  • 4个等离子体
  • 4个等离子体刻蚀
  • 4个电感
  • 3个单片
  • 3个单片集成
  • 3个单向性
  • 3个导电
  • 3个导电薄膜

机构

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  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个南京大学
  • 1个南京师范大学
  • 1个中国科学院
  • 1个西安电子科技...
  • 1个中国科学技术...
  • 1个西北电讯工程...
  • 1个绍兴文理学院
  • 1个三束材料改性...

资助

  • 13个国家高技术研...
  • 10个国家杰出青年...
  • 7个国家自然科学...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个国家重点实验...
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  • 3个教育部重点实...
  • 2个甘肃省自然科...
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传媒

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  • 7个仪器仪表学报
  • 7个传感技术学报
  • 7个微纳电子技术
  • 6个电子器件
  • 6个微电子学
  • 6个中国微米、纳...
  • 6个中国微米、纳...
  • 5个电子学报
  • 5个测控技术
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  • 4个化工时刊
  • 4个东南大学学报...
  • 4个中国科学（E...
  • 3个光学精密工程
  • 3个传感器技术

地区

  • 9个江苏省
  • 2个安徽省
  • 1个浙江省
  • 1个甘肃省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
黄庆安
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈新安
供职机构：绍兴文理学院
研究主题：太阳能板 车窗 侧窗 百叶窗 后窗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戚丽娜
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：多晶硅薄膜 热扩散率 时间常数 瞬态分析 瞬态特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘祖韬
供职机构：东南大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 微机械 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周再发
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘肃
供职机构：兰州大学
研究主题：静电感应器件 SITH 静电感应晶闸管 单晶 CMOS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王涓
供职机构：东南大学
研究主题：各向异性 微加工技术 微机电系统 各向异性腐蚀 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙岳明
供职机构：东南大学
研究主题：染料敏化太阳能电池 石墨烯 光阳极 纳米纤维 SUB
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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