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国家教育部博士点基金(20010007010)

作品数：3 被引量：2H指数：1
相关作者：欧毅孙雨南崔芳崔建民陈大鹏更多>>
相关机构：北京理工大学中国科学院微电子研究所更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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地区

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔芳
供职机构：北京理工大学
研究主题：石英音叉 声光可调谐滤波器 石英音叉陀螺 陀螺 有限元法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙雨南
供职机构：北京理工大学
研究主题：石英音叉 石英音叉陀螺 声光可调谐滤波器 陀螺 集成光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔建民
供职机构：北京理工大学
研究主题：声光可调谐滤波器 正交 铌酸锂 共线 闭环
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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