您的位置： 专家智库 > >

上海市科学技术委员会资助项目(08111100300)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张泽芳刘卫丽宋志棠俞磊更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目更多>>
相关领域：理学更多>>

领域

  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
  • 3个化学工程
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个电子电信
  • 2个生物学
  • 2个自动化与计算...
  • 1个电气工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个核科学技术
  • 1个文化科学
  • 1个自然科学总论
  • 1个兵器科学与技...

主题

  • 4个单晶
  • 4个低温烘干
  • 3个电路
  • 3个多晶金刚石
  • 2个单分散
  • 2个单晶薄膜
  • 2个单晶硅
  • 2个氮化
  • 2个氮化钛
  • 2个导体
  • 2个等离子体
  • 2个等离子体增强
  • 2个等离子体增强...
  • 2个低电源电压
  • 2个低温等离子体
  • 2个低温键合
  • 2个低温退火
  • 2个电极
  • 2个电路工艺
  • 2个电脉冲

机构

  • 4个中国科学院
  • 3个中国科学院研...
  • 3个上海新安纳电...
  • 2个上海大学
  • 2个中国科学院上...
  • 1个北京工业大学
  • 1个太原重型机械...
  • 1个西安交通大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中科院上海微...
  • 1个交通大学
  • 1个上海市纳米科...

资助

  • 4个上海市科学技...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个上海市重大科...
  • 2个中国科学院战...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个基础研究重大...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个中国科学院王...
  • 1个宁波市自然科...
  • 1个电子薄膜与集...

传媒

  • 4个无机化学学报
  • 3个半导体技术
  • 3个润滑与密封
  • 3个功能材料与器...
  • 3个2009国际...
  • 2个应用化工
  • 2个Journa...
  • 2个物理学报
  • 2个武汉理工大学...
  • 2个无机材料学报
  • 2个表面技术
  • 2个功能材料
  • 2个材料导报
  • 2个上海第二工业...
  • 2个微电子学
  • 2个浙江大学学报...
  • 2个微纳电子技术
  • 2个第十四届全国...
  • 2个第五届中国功...
  • 1个电子科技

地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞磊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 材料结构 氧化铈 反射光 纳米孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张泽芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 氧化硅 抛光液 蓝宝石 氧化铈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0