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广东省重大科技专项(2010A080802006)

作品数：3 被引量：4H指数：2
相关作者：甘志银关国坚陈倩翌更多>>
相关机构：华中科技大学广东昭信半导体装备制造有限公司更多>>
发文基金：广东省重大科技专项广东省粤港关键领域重点突破项目更多>>
相关领域：一般工业技术动力工程及工程热物理机械工程更多>>

领域

  • 3个电子电信
  • 2个机械工程
  • 2个动力工程及工...
  • 2个一般工业技术
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个自动化与计算...
  • 1个医药卫生

主题

  • 2个单片
  • 2个单片机
  • 1个大型公共场所
  • 1个代谢
  • 1个代谢物
  • 1个氮化镓
  • 1个氮化镓纳米线
  • 1个刀具
  • 1个刀头
  • 1个导电流体
  • 1个导电纤维
  • 1个导航
  • 1个导航仪
  • 1个导体
  • 1个等离子体
  • 1个电机
  • 1个电极
  • 1个电极对
  • 1个电极压力
  • 1个电缆

机构

  • 3个华中科技大学
  • 3个广东昭信半导...
  • 1个武汉国家光电...
  • 1个武汉光电国家...

资助

  • 3个广东省重大科...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个广东省粤港关...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个湖北省科技攻...
  • 1个湖北省自然科...
  • 1个国家教育部博...

传媒

  • 2个机电一体化
  • 2个科技传播
  • 1个量子电子学报
  • 1个宇航计测技术
  • 1个半导体技术
  • 1个工程热物理学...
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个电子技术应用
  • 1个机电工程
  • 1个中国机械工程
  • 1个华中科技大学...
  • 1个红外与毫米波...
  • 1个电力电子技术
  • 1个计量与测试技...
  • 1个工具技术
  • 1个医疗卫生装备
  • 1个焊接技术
  • 1个机械与电子
  • 1个仪表技术与传...
  • 1个计算机与数字...

地区

  • 3个湖北省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
甘志银
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题：真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
关国坚
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题：温度场分布 薄膜厚度 红外 金属有机物化学气相沉积 在线监测仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈倩翌
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题：加热器 模拟仿真 大尺寸 MOCVD 温度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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