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河北省自然科学基金(F2012202094)
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刘玉岭
何彦刚
唐继英
张金
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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唐继英
供职机构:天津冶金职业技术学院
研究主题:化学机械抛光 磨料 黏度 现场总线 监控画面
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张金
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
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李洪波
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:磨料 黏度 表面粗糙度 铜 化学机械抛光
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李炎
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:聚苯胺 防腐涂料 磨料 涂料 聚苯胺复合
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何彦刚
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
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樊世燕
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 测量仪 供电模块 滑翔 潜水泵
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闫辰奇
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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高娇娇
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
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