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国家高技术研究发展计划(2002CB311902)
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齐鸣
金智
刘新宇
程伟
徐安怀
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徐安怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:INP DHBT 磷化铟 异质结双极晶体管 气态源分子束外延
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程伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:INP DHBT HBT 磷化铟 光刻胶
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齐鸣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:氮化镓 氢化物气相外延 阳极氧化铝 磷化铟 GAN
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 外延层
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金智
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:石墨烯 金属 场效应晶体管 光刻胶 电极
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