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国家自然科学基金(51175092)

作品数：22 被引量：83H指数：6
相关作者：魏昕谢小柱胡伟杨向东邹微波更多>>
相关机构：广东工业大学东莞理工学院东源广工大现代产业协同创新研究院更多>>
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相关领域：机械工程金属学及工艺理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 13个金属学及工艺
  • 10个机械工程
  • 9个自动化与计算...
  • 7个理学
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  • 1个建筑科学
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  • 1个核科学技术

主题

  • 9个化学机械抛光
  • 9个机械抛光
  • 9个CMP
  • 8个抛光
  • 7个抛光垫
  • 7个抛光液
  • 6个弹簧
  • 6个刀具
  • 5个陶瓷刀
  • 5个陶瓷刀具
  • 5个网格
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  • 3个电机
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  • 3个电流信号
  • 3个电路
  • 3个电路板

机构

  • 13个广东工业大学
  • 2个华南理工大学
  • 1个东莞理工学院
  • 1个湖南大学
  • 1个华中科技大学
  • 1个四川大学

资助

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  • 14个国家自然科学...
  • 10个广东省科技计...
  • 10个国家教育部博...
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  • 3个广东省教育厅...
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  • 1个国家科技攻关...
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  • 1个教育部科学技...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个四川省科技支...

传媒

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  • 6个制造技术与机...
  • 6个机床与液压
  • 6个组合机床与自...
  • 6个机电工程技术
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  • 5个激光技术
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  • 3个激光与光电子...
  • 3个中国激光

地区

  • 14个广东省
共 14 条 记 录，以下是 1-10
魏昕
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：激光 激光技术 化学机械抛光 微热管 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢小柱
供职机构：广东工业大学
研究主题：激光 微热管 激光技术 激光加工 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡伟
供职机构：广东工业大学
研究主题：激光 微热管 蓝宝石 激光技术 平板热管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨向东
供职机构：广东工业大学
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 沟槽 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁文强
供职机构：广东工业大学
研究主题：重力式 工件 化学机械抛光 抛光 真空吸盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹微波
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宇辉
供职机构：东莞理工学院机械工程学院
研究主题：端部 装设 工件 超声换能器 一体机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪继伟
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：陶瓷刀具 微织构 激光加工 摩擦磨损性能 尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方照蕊
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘泽宇
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：微织构 陶瓷刀具 激光加工 摩擦磨损性能 尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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