您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(715-002-0020)

作品数：2 被引量：12H指数：2
相关作者：黄建良汪建华邬钦崇舒兴胜更多>>
相关机构：武汉工程大学中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>

领域

  • 4个金属学及工艺
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
  • 3个化学工程
  • 3个电子电信
  • 3个电气工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术
  • 1个生物学
  • 1个石油与天然气...
  • 1个冶金工程
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个农业科学
  • 1个文化科学

主题

  • 4个等离子体化学...
  • 3个等离子体
  • 3个等离子体炬
  • 3个低温等离子体
  • 3个电弧
  • 3个电源
  • 3个电子回旋共振
  • 3个形核
  • 3个氧气
  • 2个单片
  • 2个单片机
  • 2个氮化
  • 2个刀具
  • 2个等离子
  • 2个等离子体发生...
  • 2个等离子体辅助
  • 2个等离子体技术
  • 1个大学工科
  • 1个单晶
  • 1个单晶硅

机构

  • 3个中国科学院等...
  • 2个上海交通大学
  • 2个武汉工程大学
  • 2个武汉化工学院
  • 1个大连理工大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个山东大学
  • 1个教育部
  • 1个中国科学院
  • 1个武汉工业大学
  • 1个武汉理工大学
  • 1个中国科学院合...
  • 1个湖北省等离子...

资助

  • 4个国家高技术研...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个湖北省教育厅...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个湖北省科技攻...
  • 1个湖北省自然科...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个武汉市青年科...
  • 1个湖北省教育厅...
  • 1个湖北省教育厅...
  • 1个湖北省教育厅...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个湖北省高等学...
  • 1个湖北省高等学...
  • 1个湖北省高等学...
  • 1个教育部重点实...
  • 1个塑性成形模拟...
  • 1个武汉市科技攻...
  • 1个中国科学院院...

传媒

  • 4个真空与低温
  • 3个物理学报
  • 3个无机材料学报
  • 3个核聚变与等离...
  • 3个高技术通讯
  • 3个材料导报
  • 3个真空科学与技...
  • 3个真空电子技术
  • 3个第九届全国等...
  • 2个材料科学与工...
  • 2个半导体技术
  • 2个新技术新工艺
  • 2个金属热处理
  • 2个材料保护
  • 2个物理化学学报
  • 2个真空
  • 2个人工晶体学报
  • 1个现代化工
  • 1个化工新型材料
  • 1个新型炭材料

地区

  • 2个安徽省
  • 2个湖北省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
汪建华
供职机构：武汉工程大学
研究主题：化学气相沉积 金刚石薄膜 金刚石膜 微波等离子体 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
舒兴胜
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所
研究主题：MWPCVD 金刚石膜 表面改性 工作气体 微波等离子体化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄建良
供职机构：武汉工程大学
研究主题：金刚石膜 化学气相沉积 CVD金刚石薄膜 形核 大功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邬钦崇
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所
研究主题：金刚石薄膜 等离子体 化学气相沉积 金刚石 微波等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0