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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z346)
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6
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相关作者:
甘志银
徐建
刘胜
石雄
张廷凯
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甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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徐建
供职机构:华中科技大学
研究主题:原子钟 被动型 CPT 光源 虚拟实验
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张廷凯
供职机构:华中科技大学
研究主题:沉孔 样片 阳极键合 微机电系统 工作台
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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石雄
供职机构:华中科技大学
研究主题:直接数字频率合成 DDS技术 原子钟 CPT 数字电位器
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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