您的位置： 专家智库 > >

国家科技重大专项(2011ZX02402)

作品数：14 被引量：75H指数：5
相关作者：黄惠杰杨宝喜曾爱军徐敏朱菁更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院上海光学精密机械研究所复旦大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目上海市引进技术的吸收与创新计划项目更多>>
相关领域：机械工程理学金属学及工艺更多>>

领域

  • 27个机械工程
  • 25个理学
  • 18个电子电信
  • 15个自动化与计算...
  • 9个金属学及工艺
  • 7个环境科学与工...
  • 7个一般工业技术
  • 4个化学工程
  • 4个交通运输工程
  • 4个医药卫生
  • 4个文化科学
  • 3个电气工程
  • 2个生物学
  • 2个建筑科学
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个政治法律
  • 1个经济管理
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个核科学技术
  • 1个农业科学

主题

  • 22个光学
  • 19个激光
  • 18个透镜
  • 18个测量方法
  • 17个衍射
  • 17个图像
  • 16个光学元件
  • 14个照明
  • 14个透镜阵列
  • 14个偏振
  • 13个衍射光学
  • 13个衍射光学元件
  • 13个相干
  • 12个照明系统
  • 12个微透镜
  • 12个微透镜阵列
  • 12个相干光
  • 11个准直
  • 8个等离子体
  • 8个调整架

机构

  • 20个中国科学院上...
  • 14个中国科学院大...
  • 8个中国科学院研...
  • 6个复旦大学
  • 4个中国科学院
  • 1个长春理工大学
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个军事医学科学...
  • 1个西安工业大学
  • 1个中央民族大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 27个国家科技重大...
  • 17个国际科技合作...
  • 12个国家自然科学...
  • 11个上海市科技人...
  • 7个国家高技术研...
  • 7个上海市自然科...
  • 6个上海市国际科...
  • 3个上海市青年科...
  • 3个上海市引进技...
  • 2个国防基础科研...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个浙江省公益性...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个上海市高校选...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个国家重大科学...

传媒

  • 18个中国激光
  • 18个光学学报
  • 17个激光与光电子...
  • 7个物理学报
  • 7个光子学报
  • 7个第十五届全国...
  • 4个光学精密工程
  • 3个红外与激光工...
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个无机材料学报
  • 3个强激光与粒子...
  • 2个Journa...
  • 2个功能材料
  • 2个科技开发动态
  • 2个光电工程
  • 2个人工晶体学报
  • 2个应用光学
  • 2个功能材料与器...
  • 2个光学仪器
  • 2个2007年中...

地区

  • 25个上海市
  • 1个黑龙江省
  • 1个北京市
共 27 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐敏
供职机构：复旦大学
研究主题：偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王军华
供职机构：复旦大学
研究主题：全景 波前编码 干涉图 自准直仪 全景图像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小邦
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金超群
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大量程 MEMS光开关 激光测距 镜面 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0