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国家自然科学基金(50472010)
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朱晓东
詹如娟
周海洋
丁芳
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朱晓东
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:等离子体 金刚石 金刚石薄膜 CVD金刚石 直流辉光
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温晓辉
供职机构:中国科学技术大学物理学院近代物理系
研究主题:等离子体 金刚石薄膜 膜过程 金刚石膜 电子回旋共振
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詹如娟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:等离子体 金刚石薄膜 金刚石 类金刚石薄膜 金刚石膜
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周海洋
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:CVD金刚石 金刚石薄膜 膜过程 金刚石膜 辐射探测器
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丁芳
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:等离子体 直流辉光 金刚石 直流辉光放电 力学性能
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颜官超
供职机构:中国科学院
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耿松
供职机构:中国科学院
研究主题:大气压 二氧化硅薄膜 等离子体制备
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孟亮
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 氢等离子体 偏压 等离子体
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方鹏
供职机构:中国科学院
研究主题:大气压 二氧化硅薄膜 等离子体制备
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丁斯晔
供职机构:中国科学院
研究主题:HMDSO SIC薄膜 SIC 非晶 纳米
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