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国家自然科学基金(50375150)

作品数：3 被引量：2H指数：1
相关作者：伊福廷张菊芳罗亮更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

  • 3个中国科学院
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  • 1个清华大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个浙江大学

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个国家攀登计划
  • 2个中国科学院知...
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  • 1个浙江省自然科...

传媒

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  • 2个第十届全国特...
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地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张菊芳
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 X射线光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗亮
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：纳米加工技术 纳米 氯化铯 自组装技术 GEM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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