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国家自然科学基金(69976034)

作品数:5 被引量:19H指数:3
相关作者:林成鲁门传玲林青谢欣云徐政更多>>
相关机构:中国科学院同济大学中国科学院上海冶金研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术更多>>

领域

  • 13个电子电信
  • 11个一般工业技术
  • 9个理学
  • 7个化学工程
  • 6个自动化与计算...
  • 5个金属学及工艺
  • 5个电气工程
  • 3个生物学
  • 3个机械工程
  • 2个建筑科学
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个自然科学总论
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个石油与天然气...
  • 1个冶金工程

主题

  • 10个氮化
  • 10个离子注入
  • 10个埋层
  • 10个纳米
  • 10个绝缘埋层
  • 10个SOI
  • 9个氮化硅
  • 9个电路
  • 9个半导体
  • 8个绝缘层
  • 7个氮化硅薄膜
  • 7个多孔硅
  • 6个单晶
  • 6个氮化铝
  • 6个导体
  • 6个电子领域
  • 5个电路工艺
  • 4个单晶薄膜
  • 4个氮化铝薄膜
  • 4个电学

机构

  • 11个中国科学院
  • 6个中国科学院上...
  • 3个同济大学
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  • 2个上海科学院
  • 1个长春光学精密...
  • 1个安徽大学
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  • 1个上海理工大学
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  • 1个上海大学
  • 1个新疆大学
  • 1个中山大学
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  • 1个江苏石油化工...
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中科院上海微...
  • 1个上海市金属功...
  • 1个上海钢铁研究...
  • 1个上海新安纳电...

资助

  • 13个国家重点基础...
  • 13个国家自然科学...
  • 7个上海市青年科...
  • 6个上海市科学技...
  • 5个国家高技术研...
  • 3个上海市自然科...
  • 2个国家科技重大...
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  • 2个中国科学院重...
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  • 1个国家杰出青年...
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  • 1个宁波市自然科...
  • 1个“上海-应用...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个上海市国际科...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市重大科...
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传媒

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  • 8个物理学报
  • 8个物理
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  • 4个第十二届全国...
  • 3个第十二届全国...
  • 2个半导体技术
  • 2个硅酸盐学报
  • 2个电子学报
  • 2个无机化学学报
  • 2个武汉理工大学...
  • 2个中国激光

地区

  • 12个上海市
  • 1个北京市
13 条 记 录,以下是 1-10
林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门传玲
供职机构:上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题:碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢欣云
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林青
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐政
供职机构:同济大学材料科学与工程学院
研究主题:高岭石 超导体 超导电性 微波 ZNO压敏电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴雁军
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 吸杂 ALN薄膜 绝缘层上硅 离子束增强沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐安怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:INP DHBT 磷化铟 异质结双极晶体管 气态源分子束外延
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
安正华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
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