您的位置： 专家智库 > >

中国科学院科研装备研制项目(Y3YZ028001)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：董亚斌夏洋李超波卢维尔李楠更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：化学工程更多>>

领域

  • 5个化学工程
  • 5个金属学及工艺
  • 5个电子电信
  • 5个电气工程
  • 5个理学
  • 4个机械工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 3个文化科学
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个水利工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个农业科学

主题

  • 5个电场
  • 5个电路
  • 5个氧化锌
  • 5个原子层沉积
  • 5个生长速率
  • 5个体源
  • 5个位阻
  • 5个位阻效应
  • 4个等离子体
  • 4个电机
  • 4个调制
  • 4个调制研究
  • 4个多晶
  • 4个阵列
  • 4个射频电源
  • 4个石墨
  • 3个氮化镓
  • 3个等离子体刻蚀
  • 3个电流
  • 3个淀积

机构

  • 5个中国科学院微...
  • 2个浙江大学
  • 2个嘉兴科民电子...
  • 1个北京科技大学
  • 1个北京有色金属...
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学技术...
  • 1个中国科学院大...
  • 1个中国科学院嘉...

资助

  • 5个中国科学院科...
  • 4个国家自然科学...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个北京市教委科...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个辽宁省科技厅...

传媒

  • 5个无机材料学报
  • 4个半导体技术
  • 4个物理学报
  • 4个微纳电子技术
  • 4个材料导报（纳...
  • 3个真空科学与技...
  • 3个2014中国...
  • 2个北京科技大学...
  • 2个太阳能学报
  • 2个Journa...
  • 2个电子工艺技术
  • 2个金属热处理
  • 2个材料保护
  • 2个激光与光电子...
  • 2个功能材料
  • 2个材料导报
  • 2个发光学报
  • 2个仪表技术与传...
  • 2个光电工程
  • 2个固体电子学研...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
董亚斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 锌源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0