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国家重点基础研究发展计划(2002CB311907)
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王燕
余志平
祃龙
田立林
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王燕
供职机构:清华大学
研究主题:注射针头 经皮给药 微针 控制部件 注射器
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余志平
供职机构:清华大学
研究主题:石墨烯 集成电路设计 螺旋电感 射频 场效应管
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田立林
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:MOSFET SOI 浮体效应 纳米 沟道
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祃龙
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:HEMT ALGAN/GAN 二维电子气 小信号模型 I-V特性
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鲁净
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:ALGAN/GAN_HEMT HEMT GAN 小信号模型 误差分析
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薛丽君
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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陈培毅
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:SIGE HBT 量子点 UHV/CVD SIGE_HBT
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