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国家高技术研究发展计划(2002AA431010)
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方玉明
黄庆安
李伟华
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东南大学
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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方玉明
供职机构:南京邮电大学
研究主题:微执行器 MEMS PULL-IN 时钟数据恢复 微电子
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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